國產(chǎn)化需求正在拉動國內(nèi)半導體設(shè)備行業(yè)

來源：本文由半導體產(chǎn)業(yè)縱橫（ID:ICVIEWS）綜合

日本的出口限制，是國產(chǎn)半導體設(shè)備的機遇。

盡管半導體景氣度從2022年下半年顯著回落，半導體設(shè)備是少數(shù)逆勢高速增長的細分行業(yè)。作為A股半導體設(shè)備龍頭，北方華創(chuàng)高管在5月31日舉辦的2022年度業(yè)績說明會上表示公司目前在手訂單充足，并預(yù)測受國產(chǎn)替代需求拉動，今年國內(nèi)半導體設(shè)備行業(yè)仍有望持續(xù)增長。

2022年，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營業(yè)收入147億元，同比增長約五成，凈利潤約24億元，同比增長1.18倍；今年一季度公司實現(xiàn)凈利潤近6億元，同比增長1.86倍。

“目前公司在手訂單充足，2023年1-5月新增訂單相較去年同期增長超過30%，其中以集成電路設(shè)備訂單為主。”北方華創(chuàng)高管表示。

北方華創(chuàng)在半導體設(shè)備領(lǐng)域業(yè)務(wù)覆蓋刻蝕裝備、薄膜裝備、立式爐裝備、外延裝備、清洗裝備、臥式爐管設(shè)備等，去年電子工藝裝備部分業(yè)務(wù)實現(xiàn)營業(yè)收入同比增長約五成。

在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，北方華創(chuàng)高管介紹，面向12英寸邏輯、存儲、功率、先進封裝等客戶，已完成數(shù)百道工藝的量產(chǎn)驗證，其中，ICP刻蝕產(chǎn)品出貨累計超過2000腔，8英寸CCP刻蝕設(shè)備已批量供應(yīng)市場，12英寸CCP刻蝕設(shè)備已進入客戶端驗證。另外，公司用于存儲器件的高深寬比刻蝕機已完成研發(fā)，進入工藝測試階段，各項技術(shù)指標已基本滿足客戶要求。

對于刻蝕設(shè)備優(yōu)勢，北方華創(chuàng)介紹，公司自2001年開始研發(fā)ICP刻蝕設(shè)備，2005年第一臺設(shè)備進入大生產(chǎn)線量產(chǎn)，目前已有超過2000腔產(chǎn)品在數(shù)十家客戶端實現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用，在數(shù)百道制程上成為客戶的基線設(shè)備。

北方華創(chuàng)不是唯一一家在一季度實現(xiàn)增長的半導體設(shè)備公司，受益于國內(nèi)半導體下游行業(yè)設(shè)備需求的不斷增加。

盛美上海2023年一季度營業(yè)收入6.16億元，同比增長74.09％；歸屬于上市公司股東的凈利潤1.31億元，上年同期盈利431.12萬元，同比增長2937.19％。

拓荊科技一季度實現(xiàn)營收4.02億元，同比增長274.24％；歸屬于上市公司股東的凈利潤5371.8萬元，扭虧為盈。

華海清科今年一季度營業(yè)收入6.16億元，同比增長76.87％，扣非歸母凈利潤1.67億元，同比增長114.46％。

芯源微同樣披露了良好的一季報，期內(nèi)營收2.88億元，同比增長56.89％，歸母凈利6597.74萬元，同比增長103.55％。

5月23日，日本宣布把尖端半導體制造設(shè)備等23個品類列入出口管理限制對象名單，本次措施主要是增加了6大類23種管制物項，對華出口需申請許可。

在清單內(nèi)的受管制物品在向中國大陸、俄羅斯等地區(qū)出口時，需要獲得日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的許可證。清單主要針對高端半導體制造設(shè)備，尤其是特別聚焦了ArF浸沒式光刻、EUV配套設(shè)備及部件、鈷/鎢等金屬沉積、高深寬比刻蝕和硅鍺刻蝕等技術(shù)指標較高、材料特殊、在先進制程有針對性應(yīng)用的半導體設(shè)備品種，而光刻膠等日本優(yōu)勢的半導體材料則未在限制行列之中。

中信證券研報認為，中國大陸為日本主要半導體設(shè)備廠商的重要收入來源地區(qū)之一，出口限制主要針對先進芯片制造，符合預(yù)期，否則若全面限制、日本半導體相關(guān)產(chǎn)業(yè)也會有較大沖擊。在這樣的背景下，半導體設(shè)備以及零部件領(lǐng)域國產(chǎn)化進展備受關(guān)注。

廣發(fā)證券整理了2022年國內(nèi)晶圓廠的公開招標項目，以及相關(guān)半導體設(shè)備廠商的中標情況。2022 年，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商合計中標量在對應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標比例為 26%。中標方面，2022 年，統(tǒng)計樣本中的晶圓產(chǎn)線合計中標 1040 臺設(shè)備，以量測、沉積類、熱處理設(shè)備居多；國產(chǎn)設(shè)備整體中標比例約30%，其中，硅片再生、氣液系統(tǒng)、去膠、濕法腐蝕、PVD 設(shè)備的國產(chǎn)中標比例較高。

2022 年，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商合計中標 231 臺設(shè)備，北方華創(chuàng)、創(chuàng)微微電子、中微公司、萬業(yè)企業(yè)中標量領(lǐng)先，分別中標 64 臺、28 臺、22 臺、21 臺設(shè)備。

從這樣的數(shù)據(jù)來看，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商已經(jīng)有所成果，但仍有增長空間。根據(jù)SEMI（國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）數(shù)據(jù)，2022年中國晶圓廠商半導體設(shè)備國產(chǎn)化率較2021年明顯提升，從21%提升至35%；國內(nèi)半導體設(shè)備公在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP領(lǐng)域內(nèi)國產(chǎn)替代率較高，均高于30%，但在光刻機、離子注入機等領(lǐng)域國產(chǎn)化率合計不足5%。

半導體行業(yè)自2022年下半年進入下行周期，半導體制造商紛紛宣布削減2023年資本開支；對于國產(chǎn)半導體設(shè)備增長趨勢，北方華創(chuàng)高管表示看好，預(yù)計受國產(chǎn)替代需求拉動，今年國內(nèi)半導體設(shè)備行業(yè)仍有望持續(xù)增長。