國(guó)產(chǎn)明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備再上新臺(tái)階，天準(zhǔn)科技加速布局

近日，天準(zhǔn)科技（股票代碼：688003.SH）參股的蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（下文簡(jiǎn)稱“矽行半導(dǎo)體”）重磅宣布，其首臺(tái)面向12英寸晶圓65~90nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的寬波段明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備TB1000正式交付客戶。

伴隨著這款產(chǎn)品的交付，矽行半導(dǎo)體創(chuàng)造了一個(gè)里程碑，這也是中國(guó)半導(dǎo)體前道缺陷檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)的一次重大突破。

國(guó)產(chǎn)明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備的新篇章

在半導(dǎo)體制造流程中，前道瑕疵檢測(cè)是當(dāng)之無(wú)愧的關(guān)鍵工序之一，尤其是明場(chǎng)缺陷檢測(cè)，能夠檢測(cè)更廣泛的缺陷類型，是其中最為關(guān)鍵的一環(huán)，是提高產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本、推進(jìn)工藝迭代的保障。同時(shí)，明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備也是技術(shù)難度最高的前道檢測(cè)設(shè)備，一直以來(lái)被國(guó)外龍頭企業(yè)壟斷，而矽行半導(dǎo)體就是為了打破這個(gè)局面而生的。

矽行半導(dǎo)體的技術(shù)骨干全部來(lái)自國(guó)內(nèi)外知名大學(xué)，博碩比例超過(guò)80%，擁有多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，旨在打造國(guó)內(nèi)乃至全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體檢測(cè)裝備龍頭企業(yè)。此次推出明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備是矽行半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)的重要突破，也代表著中國(guó)在半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域邁出了更加堅(jiān)實(shí)的一步。

TB1000實(shí)現(xiàn)了精密光機(jī)電關(guān)鍵核心部件的自主可控，同時(shí)采用了先進(jìn)的信號(hào)處理算法，有效提高信噪比，顯著提升了設(shè)備在關(guān)鍵制程的缺陷檢測(cè)靈敏度。

對(duì)于天準(zhǔn)科技而言，TB1000的面世，進(jìn)一步完善了公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)品版圖。

天準(zhǔn)科技的多路突圍

天準(zhǔn)科技致力打造卓越視覺(jué)裝備平臺(tái)企業(yè)，近年來(lái)不斷加大半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域布局，是公司持續(xù)構(gòu)建強(qiáng)大戰(zhàn)略產(chǎn)品矩陣的重要舉措。在2020年，公司啟動(dòng)收購(gòu)德國(guó)MueTec公司，以提供包括Overlay量測(cè)、CD量測(cè)、宏觀缺陷檢測(cè)等多款面向前道晶圓和掩膜的高精度光學(xué)量測(cè)與檢測(cè)設(shè)備。

天準(zhǔn)科技和MueTec通過(guò)聯(lián)合研發(fā)，積極推進(jìn)其產(chǎn)品線技術(shù)升級(jí)，2022年成功推出面向更高端技術(shù)節(jié)點(diǎn)的Overlay產(chǎn)品并已交付客戶。同時(shí)加強(qiáng)MueTec現(xiàn)有產(chǎn)品的市場(chǎng)推廣，其高速全自動(dòng)宏觀缺陷檢測(cè)產(chǎn)品Argos系列已獲得知名客戶的批量訂單。

除收購(gòu)MueTec以外，天準(zhǔn)科技還推動(dòng)成立了矽行半導(dǎo)體，布局挑戰(zhàn)更大的半導(dǎo)體微觀缺陷檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域。

通過(guò)海外并購(gòu)、戰(zhàn)略投資和自主研發(fā)等多種途徑，天準(zhǔn)科技加快了在半導(dǎo)體前道量測(cè)及檢測(cè)領(lǐng)域的布局，打造了包括晶圓微觀缺陷檢測(cè)、Overlay量測(cè)、CD量測(cè)、掩膜量測(cè)與檢測(cè)和晶圓宏觀缺陷檢測(cè)等系列產(chǎn)品組合。

助力半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化

盡管相較國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體前道量測(cè)與檢測(cè)設(shè)備公司在進(jìn)入市場(chǎng)時(shí)間、經(jīng)營(yíng)規(guī)模、產(chǎn)品種類、技術(shù)發(fā)展等方面相對(duì)落后，但近年來(lái)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，屢創(chuàng)佳績(jī)的天準(zhǔn)科技更是其中的典型代表。

未來(lái)，天準(zhǔn)科技將充分發(fā)揮多年來(lái)在技術(shù)、人才和產(chǎn)品戰(zhàn)略等方面的儲(chǔ)備和先發(fā)優(yōu)勢(shì)，以實(shí)現(xiàn)技術(shù)全面突圍，助力半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，建設(shè)國(guó)際一流半導(dǎo)體量測(cè)與檢測(cè)設(shè)備公司。