我國(guó)成功研制新型光學(xué)晶體，可滿足半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)等領(lǐng)域重大需求

來(lái)源：央視網(wǎng)

激光是二十世紀(jì)人類最重大的發(fā)明之一。最近，中國(guó)科學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)成功研制出一種新型非線性光學(xué)晶體全波段相位匹配晶體，實(shí)現(xiàn)了整個(gè)透光范圍內(nèi)的激光輸出，它可以滿足我國(guó)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)等領(lǐng)域的重大需求。

非線性光學(xué)晶體是獲得不同波長(zhǎng)激光的物質(zhì)條件和源頭。在晶體中實(shí)現(xiàn)應(yīng)用波段相位匹配被普遍認(rèn)為是重要的技術(shù)挑戰(zhàn)之一，決定最終激光輸出的功率和效率。其中，利用晶體各向異性的雙折射相位匹配技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的彌補(bǔ)相位失配的有效途徑。

中科院新疆理化所晶體材料研究中心潘世烈科研團(tuán)隊(duì)，在提出非線性光學(xué)晶理想狀態(tài)假設(shè)的理論基礎(chǔ)上，經(jīng)過(guò)不斷實(shí)踐，成功創(chuàng)制出新非線性光學(xué)晶體，即全波段相位匹配晶體。該研究揭示了全波段相位匹配晶體的物理機(jī)制，并指導(dǎo)獲得一例非線性光學(xué)晶體（GFB）。它首次通過(guò)全波段雙折射相位匹配技術(shù)，對(duì)晶體材料透過(guò)范圍內(nèi)任意波長(zhǎng)的相位匹配，實(shí)現(xiàn)了深紫外激光輸出，可以滿足半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)等領(lǐng)域的重大需求。

中科院科研團(tuán)隊(duì)介紹，該類晶體可采用水溶液法生長(zhǎng)出高質(zhì)量、超大尺寸晶體，使其有望成為應(yīng)用于我國(guó)大科學(xué)裝置的新晶體材料。此項(xiàng)成果已于近日在國(guó)際學(xué)術(shù)期刊《自然·光子學(xué)》在線發(fā)表。