突發(fā)！ASML：部分DUV光刻機出口許可被撤銷！

1月2日消息，據(jù)ASML官網(wǎng)最新聲明，其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系統(tǒng)的出口許可證已被荷蘭政府部分撤銷，影響中國大陸部分客戶！

美國去年10月17日公布的出口管制新規(guī)，對用于一些先進生產(chǎn)設(shè)施的某些次關(guān)鍵DUV浸沒光刻系統(tǒng)施加了限制。

按照ASML的說法，2023年基本交付了中國大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單（至于2024年是不是可以繼續(xù)，ASML之前就表示不能確定。）。

事實上，2023年ASML一直都在向中國客戶供應(yīng)光刻機，其中就包含了NXT:2000i和更先進的DUV型號的產(chǎn)品，且基本交付了中國大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單。至于先進的7nm、14nm等先進的EUV光刻機，ASML依然不能給中國客戶出售。

據(jù)ASML官網(wǎng)提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML預(yù)計，目前撤銷出口許可證或最新的美國出口管制限制不會對2023年財務(wù)前景產(chǎn)生重大影響。ASML還稱，在最近與美國政府的討論中， ASML進一步澄清了美國出口管制法規(guī)的范圍和影響。

2023年9月1日，ASML在另一份聲明中稱，其已向荷蘭政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)的出口許可證申請，荷蘭政府也已頒發(fā)了截至9月1日所需的許可證，允許該公司2023年繼續(xù)發(fā)運相關(guān)光刻系統(tǒng)。

在上述聲明中，該公司表示：“在新的出口管制條例下，今年（指2023年）年底前ASML仍能履行已簽訂的合同，發(fā)運這些光刻設(shè)備。客戶也已知悉出口管制條例所帶來的限制，即自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客戶發(fā)運這些設(shè)備的出口許可證。”

來源：半導(dǎo)體材料與工藝