深圳市：晶圓制造裝備要實現(xiàn)“從0到1”突破

引言：近年來，深圳不斷完善政策支撐體系，加大戰(zhàn)略性新興產業(yè)和未來產業(yè)扶持力度，推動裝備制造業(yè)向精密制造、高端智能制造方面轉型升級，如今印發(fā)《深圳市關于推動高端裝備產業(yè)集群高質量發(fā)展的若干措施》，對包括晶圓制造設備在內的半導體設備來說，無疑是一個重大利好消息。

以下為全文：

為落實市委市政府關于“20+8”戰(zhàn)略性新興產業(yè)和未來產業(yè)集群發(fā)展的規(guī)劃和部署，增強裝備產業(yè)集群的基礎支撐作用，依據《廣東省人民政府關于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產業(yè)集群的意見》《深圳市人民政府關于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產業(yè)集群和培育發(fā)展未來產業(yè)的意見》《深圳市委辦公廳 市政府辦公廳關于加快發(fā)展新質生產力進一步推進戰(zhàn)略性新興產業(yè)集群和未來產業(yè)高質量發(fā)展的實施方案》等文件精神，結合我市實際，制定如下措施。

本措施旨在加快推動新產品、新技術與新工藝在工業(yè)母機、機器人、精密儀器設備、軌道交通裝備、海洋工程裝備和高技術船舶等產業(yè)集群的研發(fā)及產業(yè)化應用推廣，對符合條件的產品、平臺和項目，在產業(yè)政策、資金扶持、產業(yè)空間、人才獎勵、平臺服務等方面予以重點支持。針對重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項目，通過“重大科技攻關專項+首臺（套）政策+市政府引導基金扶持+后獎補”予以特別支持。

一、突破重大裝備技術

圍繞晶圓制造裝備、面板制造前段制程裝備，以及具備戰(zhàn)略意義的高檔數控機床、精密儀器設備、海洋工程裝備等，力爭實現(xiàn)“從0到1”的突破，解決尖端技術“卡脖子”問題。

（一）實施重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項目攻關計劃。圍繞薄膜沉積設備、離子注入機、薄膜量測設備等晶圓制造設備；曝光機等面板制造前、中道制程設備；超精密數控車床、銑床、磨床和復合加工機床；高端電子測試儀器、幾何量測儀器、科學實驗儀器；重大深海采礦裝備等整機和核心零部件，開展重大技術裝備攻關項目，按比例最高給予3000萬元資助。（責任單位：市科技創(chuàng)新局、市工業(yè)和信息化局）

（二）推動重大技術裝備驗證與應用。通過“試用+提升+采購”應用機制，鼓勵下游制造企業(yè)首次試用我市企業(yè)研制的填補國內空白或打破國際壟斷的重大技術裝備，按照可對標的同類型設備市場銷售價格，按比例對本地制造企業(yè)試用用戶給予一次性試用補貼，單臺裝備最高不超過100萬元。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（三）引入重大技術裝備攻關人才團隊。大力引進承擔重大技術裝備攻關項目任務的人才團隊和個人，對于符合深圳市高層次人才相關政策的人才，享受相應高層次人才獎勵補貼和杰出人才工作經費資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局、市人力資源保障局）

二、突破關鍵配套基礎件

支持裝備領域價值占比高、技術難度大、國產化率低的關鍵配套基礎件研制，重點突破高檔數控系統(tǒng)、減速器、伺服控制系統(tǒng)、超快激光器等，推動裝備企業(yè)向產業(yè)鏈、價值鏈高端環(huán)節(jié)攀升，著力提升產業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平。

（四）支持高精密機械結構件等特種材料研制。支持材料企業(yè)聯(lián)合裝備企業(yè)、科研機構共同研制高性能材料，重點研制減速器、加工刀具、精密軸承、精密絲桿用高強度、耐疲勞金屬復合材料、高速電機永磁材料等，對符合條件并列入重點新材料首批次應用示范目錄的新材料產品，按照一定期限內銷售額，按比例給予最高不超過1000萬元資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（五）支持精密模具制造和精密加工工藝開發(fā)。鼓勵模具企業(yè)提升模具設計和精密加工能力，研制耐磨性、韌性、抗疲勞性優(yōu)異的模具產品，支持加工精度向亞微米級提升。鼓勵機械結構件制造企業(yè)提升精密加工能力，圍繞高精密RV、諧波減速器、高精密線軌和絲杠、主軸等裝備核心結構件，支持量產產品中的核心關鍵工藝加工精度向IT5、IT4、IT3及以上等級提升。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（六）支持數控系統(tǒng)和工控系統(tǒng)等研制。支持企業(yè)重點研制基于自主可控核心芯片和操作系統(tǒng)的機床數控系統(tǒng)，PLC（可編程邏輯控制器）、DCS（分布式控制系統(tǒng)）等工業(yè)自動化控制系統(tǒng)。支持企業(yè)開發(fā)嵌入式操作系統(tǒng)、開發(fā)支撐軟件、工業(yè)控制先進算法等基礎軟件和工業(yè)軟件，對于符合條件的首版次軟件，按一定時期內審定銷售額，按比例給予最高不超過1000萬元的資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局、市發(fā)展改革委、市科技創(chuàng)新局）

三、提升裝備智能化水平

面向裝備智能化、數字化、網聯(lián)化發(fā)展趨勢，支持裝備企業(yè)運用數字化、網絡化技術研制智能網聯(lián)裝備，提升裝備和關鍵工序數字化水平，促進我市制造業(yè)數字化轉型，推動信息化和工業(yè)化深度融合。

（七）支持裝備智能化網聯(lián)化系統(tǒng)研制和應用。支持裝備企業(yè)研制用于裝備數據采集、聯(lián)網上云、在線檢測、異構網絡互通、船舶遠程運維的系統(tǒng)模塊，提升制造業(yè)數字化轉型的智能化網聯(lián)化能力。鼓勵實施技術改造項目的企業(yè)采購具有深度感知、智慧決策、自動執(zhí)行功能的工業(yè)互聯(lián)新型裝備。鼓勵企業(yè)通過技術融合、設備集成和二次開發(fā)形成解決方案，提升裝備在智能制造領域的應用水平。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（八）支持自主可控的裝備互聯(lián)協(xié)議推廣應用。支持數控裝備內置或兼容NC-Link互聯(lián)通信協(xié)議標準，工業(yè)軟件等適配NC-Link互聯(lián)通信協(xié)議標準，形成有利于制造業(yè)數字化轉型的統(tǒng)一標準；支持數字化工廠/車間應用NC-Link協(xié)議標準，形成基于NC-Link協(xié)議的工廠/車間數字化解決方案示范，對于相關建設項目，按照NC-Link互聯(lián)通信協(xié)議相關部件和系統(tǒng)采購金額按比例給予最高100萬元資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

四、加強裝備推廣應用

（九）落實首臺（套）保險補償政策。落實國家首臺（套）重大技術裝備保險補償機制，支持鼓勵企業(yè)按照相關政策申報國家首臺（套）保費補貼，對符合條件的投保企業(yè)給予適當額度保險補償，強化保險的風險保障功能，降低用戶使用風險，加快首臺套重大技術裝備研發(fā)應用，推動重大技術裝備迭代更新。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（十）支持首臺（套）重大技術裝備推廣應用。突出需求導向，強化應用牽引，鼓勵企業(yè)將具備突破性、先進性的裝備整機（含系統(tǒng)）、核心零部件申請納入《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄》。對研制符合首臺（套）目錄的產品的企業(yè)，按照一定期限內產品實際銷售總額，按比例給予最高1000萬元資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（十一）加大采購首臺（套）產品力度。引導國企、事業(yè)單位擴大首臺套重大技術裝備采購，依托重大工程等建設首臺（套）重大技術裝備示范應用項目，相關產品適用盡職免責條款規(guī)定。落實《工業(yè)和信息化部 國家發(fā)展改革委 國務院國資委關于支持首臺（套）重大技術裝備平等參與企業(yè)招標投標活動的指導意見》（工信部聯(lián)重裝〔2023〕127號），支持首臺套重大技術裝備平等參與企業(yè)招標投標活動。（責任單位：市工業(yè)和信息化局、市發(fā)展改革委、市衛(wèi)生健康委、市國資委）

（十二）鼓勵企業(yè)采購首臺（套）產品用于技術改造。著力加強對制造業(yè)企業(yè)老舊設備和生產線的升級改造，支持工業(yè)企業(yè)圍繞擴大產能規(guī)模、提升生產效率、提高產品質量、促進技術裝備和產品更新?lián)Q代、改善生產環(huán)境等方面加大技術改造，鼓勵企業(yè)在技術改造升級過程中優(yōu)先采購列入首臺（套）重大技術裝備目錄的產品，對于采購首臺（套）產品用于技改投資的項目在技術改造項目扶持中優(yōu)先給予資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（十三）推動在高端復雜場景和龍頭用戶企業(yè)應用。以能夠反映裝備在精度、可靠性、效率、能耗和智能決策等方面水平為衡量標準，推動工業(yè)機器人、數控機床、激光加工裝備、精密儀器設備等通用裝備在高端場景的應用，推動半導體制造裝備、面板制造裝備、動力電池制造裝備、光伏電池制造裝備、專用精密儀器設備等專用裝備在下游龍頭用戶企業(yè)的應用，提升高端應用領域裝備國產化率。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

五、完善創(chuàng)新生態(tài)體系

（十四）支持裝備領域大型央企、民企在深圳落戶。積極對接裝備領域大型央企、民企重大項目，對引進的特大、關鍵、緊缺項目采取“補投結合”“一事一議”“一企一策”方式予以支持。（責任單位：市工業(yè)和信息化局，各區(qū)政府、大鵬新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會）

（十五）支持裝備領域制造業(yè)創(chuàng)新中心建設。鼓勵企業(yè)、科研院所、高校、行業(yè)組織等產學研用和上下游聯(lián)合，在高端裝備領域組建制造業(yè)創(chuàng)新中心，對制造業(yè)創(chuàng)新中心的平臺建設、技術研發(fā)、示范應用等項目，按比例給予最高5000萬元資助。對已撥付的國家和省制造業(yè)創(chuàng)新中心資助資金，最高給予1∶1配套資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（十六）支持產業(yè)公共服務平臺建設。面向裝備全生命周期共性服務需求，加快關鍵性、緊缺性公共服務供給。支持建設機器人檢測認證公共服務平臺、機床加工工藝服務平臺、精密儀器校準檢測平臺、軌道交通裝備檢測認證服務平臺等。對符合條件的平臺，按照不超過投資額，按比例給予最高1000萬元資助。（責任單位：市工業(yè)和信息化局、市市場監(jiān)管局）

（十七）加大對裝備企業(yè)金融支持力度。按照“一集群一基金”配置原則，加快設立面向工業(yè)母機、機器人等裝備領域的專業(yè)化投資基金。以“補投結合”的模式，創(chuàng)新高端裝備產業(yè)項目的支持方式。充分發(fā)揮產業(yè)投資基金在招商引資方面的重大“推手”作用，通過基金投資促使一批重大項目簽約落地。（責任單位：市工業(yè)和信息化局、市財政局、市地方金融管理局）

六、加大集群發(fā)展統(tǒng)籌力度

（十八）建立政府與市場協(xié)同機制。加強市區(qū)聯(lián)動，加大市區(qū)聯(lián)合支持力度，充分發(fā)揮戰(zhàn)略咨詢機構、產業(yè)促進機構、專家委員會、重點企業(yè)、行業(yè)協(xié)會等相關單位的支撐作用，協(xié)同解決全市高端裝備產業(yè)發(fā)展過程的難點和痛點。（責任單位：市工業(yè)和信息化局）

（十九）推動高端裝備產業(yè)園區(qū)建設。拓展制造業(yè)發(fā)展空間，在工業(yè)母機、機器人、精密儀器設備、海洋工程裝備和高技術船舶等產業(yè)集群分別認定一批具有產業(yè)集聚度高、規(guī)模效益明顯，具備良好公共技術服務能力，園區(qū)內企業(yè)自主創(chuàng)新能力強的特色園區(qū)，對園區(qū)投資或管理機構在園區(qū)規(guī)劃、公共服務、信息化建設、招商引資等給予相關支持。（責任單位：市工業(yè)和信息化局、各區(qū)政府、大鵬新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會）

七、其他事項

（二十）制定配套實施辦法或操作規(guī)程。市政府各部門制定配套實施辦法或操作規(guī)程，并加強政策措施的績效評估，根據實施效果進行動態(tài)調整。各區(qū)政府、新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會可以結合本區(qū)實際情況，根據本政策措施制定實施辦法。本措施由市工業(yè)和信息化局負責解釋。本措施自印發(fā)之日起施行，有效期5年。

來源：半導體芯聞