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增芯科技12英寸晶圓制造項目投產(chǎn)啟動,內(nèi)含國內(nèi)首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓生產(chǎn)線

發(fā)布人:芯謀研究 時間:2024-07-01 來源:工程師 發(fā)布文章
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圖片項目一期產(chǎn)能預計2025年底達到2萬片/月


2024年6月28日,增芯科技12英寸晶圓制造項目在廣州增城投產(chǎn)啟動,該項目建設(shè)有國內(nèi)首條、全球第二條的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線。同期舉辦“12英寸MEMS智能傳感器技術(shù)交流會暨增芯投產(chǎn)活動”,相關(guān)政府領(lǐng)導、業(yè)內(nèi)專家學者和企業(yè)家等百余位嘉賓出席活動。

增芯科技12英寸晶圓制造產(chǎn)線投產(chǎn)儀式”在增城經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)核心區(qū)舉行。現(xiàn)場,增芯總經(jīng)理張亮難掩激動,“增芯可以在增城生產(chǎn)第一批芯片產(chǎn)品了!”他介紹,芯片完整的制造流程涉及氣相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蝕、離子注入等步驟,分別對應不同設(shè)備。投產(chǎn)儀式的啟動,意味著項目已建立起制造系統(tǒng),整個生產(chǎn)流程能夠連貫地運作。后續(xù),增芯將通過產(chǎn)品良率提升和產(chǎn)能爬坡,加快產(chǎn)品交付工作。

面向粵港澳大灣區(qū)這一全球傳感器最大的應用市場,增芯專注于MEMS(微機電系統(tǒng))、先進模擬/混合信號等特色芯片制造技術(shù)領(lǐng)域?!霸鲂静扇〔町惢偁幉呗?,專注于高附加值的MEMS傳感器及特色細分產(chǎn)品市場段?!睆埩帘硎尽?/span>

項目一期產(chǎn)能預計于2025年底達到2萬片/月;一期工藝技術(shù)采用MEMS力學傳感器和130-55納米成熟制程。

“我們主攻的12英寸55nm-90nm工藝產(chǎn)品,具有性能功耗平衡、高集成度、成本效益和成熟度穩(wěn)定等技術(shù)特點,在多個應用領(lǐng)域具備廣泛適應性,市場份額穩(wěn)定?!睆埩两榻B,這些特性使得“增芯出品”有望在半導體市場取得獨特的地位。

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投產(chǎn)啟動儀式現(xiàn)場

增芯科技12英寸晶圓制造項目于2022年12月14日啟動開工,僅歷時18個月,便完成了包括潔凈室26000平、總面積210000平、主設(shè)備300余臺搬入等項目建設(shè)?!白畲蟮母惺芫褪恰?span style=";padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important">快’”,張亮表示。如此令人咂舌的“增芯速度”背后,是增芯科技不遺余力推動我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的決心。圍繞今日投產(chǎn)的國內(nèi)首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線,增芯科技在未來將做更多的開發(fā)和應用,助力我國MEMS產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化率和應用水平的快速提高,推動我國MEMS產(chǎn)業(yè)在各大相關(guān)領(lǐng)域的深度發(fā)展。

不僅是MEMS產(chǎn)業(yè)。增芯科技同時表示,本次投產(chǎn)的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線是增芯科技12英寸晶圓制造項目的第一條產(chǎn)線,但絕不會是最后一條增芯科技對我國的半導體產(chǎn)業(yè)前景抱有極高預期和信心,未來將有序啟動更多的產(chǎn)線建設(shè),覆蓋MEMS以外的各類工藝平臺和產(chǎn)品類型,將科學技術(shù)運用到產(chǎn)品和實踐當中,為廣州、全國乃至全球的集成電路產(chǎn)業(yè)提供全方面的優(yōu)質(zhì)服務。

“增芯速度”的形成也離不開其背后民營資本力量的支持。據(jù)悉,增芯科技12英寸晶圓制造項目是由廣州灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團有限公司發(fā)起成立。灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團主要由興橙資本、福建金盛蘭和山西新民能源等三家民營資本出資籌建。在國家提倡促進民營經(jīng)濟發(fā)展壯大的當下,興橙資本等股東思想統(tǒng)一,步調(diào)一致,積極投身新質(zhì)生產(chǎn)力建設(shè)的國家號召當中,以18個月的“增芯速度”完成了項目首條產(chǎn)線的建設(shè),并以此項目為鏈主,引進落戶了越海、廣東微技術(shù)工研院、中微廣州、智達星空等一批能級高、帶動力強的骨干項目,為廣州東部中心增城開發(fā)區(qū)打造為大灣區(qū)的“硅谷”提供了強勁動力。

“12英寸MEMS智能傳感器技術(shù)交流會暨增芯投產(chǎn)活動”在廣州增城凱悅酒店舉行。本場交流會以MEMS智能傳感器的產(chǎn)業(yè)思考為主題,與會嘉賓們就智能傳感器技術(shù)的應用展望、MEMS產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展現(xiàn)狀及思考等相關(guān)議題展開交流與討論。

增芯科技商務中心副總裁彭坤主持本次交流會;深圳大學微電子研究院及半導體制造研究院院長王序進院士,清華大學深圳國際研究生院副教授、晶鐵半導體技術(shù)(廣東)有限公司董事長張盛博士,上海矽睿科技股份有限公司市場研究總監(jiān)陳俊等進行主題演講。

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清華大學副教授、晶鐵半導體技術(shù)(廣東)有限公司董事長張盛

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上海矽??萍脊煞萦邢薰臼袌鲅芯靠偙O(jiān)陳俊

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主持人:增芯科技商務中心副總裁彭坤

本次交流會還設(shè)有“12英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)思考”的專家對話環(huán)節(jié)。芯謀研究副總經(jīng)理鄧紅梅主持本環(huán)節(jié),增芯科技商務中心副總裁彭坤,中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院(賽迪研究院)研究室主任、高級工程師馬曉凱博士,中國半導體行業(yè)協(xié)會MEMS分會常務副秘書長萬成東,深圳市鵬進高科總經(jīng)理賈國軍,廣東越海集成技術(shù)有限公司總經(jīng)理賴芳奇,上海矽??萍脊煞萦邢薰臼袌鲅芯靠偙O(jiān)陳俊等出席本環(huán)節(jié)。

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專家對話環(huán)節(jié)

專家對話環(huán)節(jié)的結(jié)束意味著技術(shù)交流會的落幕,但這并不代表增芯科技對產(chǎn)業(yè)與技術(shù)的思考會止步于此。正是因為有著對技術(shù)創(chuàng)新和研發(fā)的強烈追求,“增芯速度”才得以誕生;也只有在強大技術(shù)力的支撐下,企業(yè)才能實現(xiàn)可持續(xù)性發(fā)展。增芯科技深知這一點,并已經(jīng)準備好在未來交出一份令人滿意的答卷。


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