沈陽加工IC通過所有技術(shù)檢測

    由中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司和沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司聯(lián)合承接的大型平板顯示器高精密零部件的試加工件一次性通過美國應(yīng)用材料公司的各項檢測，所有技術(shù)指標(biāo)全部檢驗合格。近日，4塊大型平板顯示器高精密零部件已運(yùn)抵大連，從大連出口。這是我國第一次成功承接國外知名IC（集成電路）裝備制造企業(yè)的零部件轉(zhuǎn)包業(yè)務(wù)。

　　IC裝備制造業(yè)是裝備制造行業(yè)中科技含量最高的產(chǎn)業(yè)，被業(yè)內(nèi)人士稱為裝備制造業(yè)的珠穆朗瑪峰。2002年，為實現(xiàn)用高新技術(shù)改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略目標(biāo)，沈陽市在全國率先提出了發(fā)展IC裝備制造產(chǎn)業(yè)的構(gòu)想。經(jīng)過3年的發(fā)展，沈陽在國家級高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)———渾南新區(qū)，以零部件加工和子系統(tǒng)產(chǎn)品加工為突破口，并加強(qiáng)同海外華人的經(jīng)濟(jì)技術(shù)交流，不斷吸收、消化國際先進(jìn)技術(shù)，使渾南的IC裝備制造業(yè)迅速起步，目前正在形成兩大IC裝備制造業(yè)集團(tuán)，一個是以沈陽新松機(jī)器人有限公司、沈陽芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、中科院沈陽自動化所為核心的IC生產(chǎn)廠晶片處理、傳送自動化裝備企業(yè)集團(tuán)；一個是以中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司為核心的真空、成膜設(shè)備企業(yè)集團(tuán)。沈陽的IC裝備制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)形成了從零部件和子系統(tǒng)加工，到單元和整機(jī)制造的全面發(fā)展格局，產(chǎn)業(yè)集群已初見雛形。

　　今年初，沈陽市同美國應(yīng)用材料公司簽訂了試加工4塊大型平板顯示器高精密零部件的合同，美國是國際IC裝備制造業(yè)的龍頭，其產(chǎn)品涵蓋了IC生產(chǎn)線所需60%以上的設(shè)備品種，對零配件的加工技術(shù)要求近乎苛刻，此前我國其他一些地區(qū)的企業(yè)也曾嘗試承接該項目，但加工出來的產(chǎn)品均未合格。為拿下這個項目，渾南新區(qū)投資80萬元作為科技創(chuàng)新基金，中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司和沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司共同組織科研人員進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，終于攻克了環(huán)形燕尾槽和細(xì)長空兩項技術(shù)難關(guān)，在兩個月的時間里，技術(shù)攻關(guān)組成員與沈陽飛機(jī)制造有限公司、沈陽黎明航天發(fā)動機(jī)有限公司的科研人員一起分析、解決具體技術(shù)問題，并在沈陽鼓風(fēng)機(jī)集團(tuán)、沈陽機(jī)床集團(tuán)有限公司等大企業(yè)的支持下，由沈陽的技術(shù)工人進(jìn)行實際操作，按時完成了4塊大型平板顯示器高精密零部件的加工。該部件經(jīng)88項人工檢測和116項設(shè)備檢測，各項指標(biāo)全部檢驗合格，定期交貨。

　　此次加工項目的高質(zhì)量完成，是沈陽老工業(yè)基地的人才優(yōu)勢、技術(shù)優(yōu)勢、裝備優(yōu)勢的展現(xiàn)，并為吸引國外知名IC裝備制造大公司進(jìn)駐沈陽提供了配套優(yōu)勢。目前，美國應(yīng)用材料公司正在同沈陽洽談新的合作項目。