AIXTRON推出新款MOCVD設備AIX G5 HT

　　德國LED設備大廠AIXTRON AG指出，新一代MOCVD Platform AIX G5 HT系統(tǒng)已達成生產(chǎn)力目標。

　　據(jù)悉，新系統(tǒng)在600 mbar以上的高壓下能以極高的速率完成高質量的氮化鎵沉淀，產(chǎn)量超過前一代系統(tǒng)的1倍，氮化鎵/氮化銦鎵也有優(yōu)異的均一性。在無反應爐烘培或替換任何零件的情況下，上述晶膜的生成在臺灣晶電廠區(qū)連續(xù)進行。目前，此MOCVD反應爐正要轉換至量產(chǎn)階段。