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EDWARDS發(fā)布IXL120 面向真空半導體工藝應用

作者: 時間:2010-07-09 來源:SEMI 收藏

  全球領(lǐng)先的真空設(shè)備供應商Edwards近日發(fā)布iXL120設(shè)備,拓展了其面向工藝的干泵設(shè)備產(chǎn)品。iXL120具有專為負載時鐘和其他清洗應用的設(shè)計,在同等產(chǎn)品中可達到最快速的抽取速度,同時還具有低能耗、高吞吐量的特點,降低擁有者成本。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/110736.htm


關(guān)鍵詞: 半導體制造 半導體工藝

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