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利用SiO2薄膜臺(tái)灣大學(xué)推出小型壓力傳感器

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作者：時(shí)間：2006-02-07 來(lái)源：

臺(tái)灣淡江大學(xué)機(jī)械與電機(jī)工程系日前開(kāi)發(fā)成功出尺寸為50μm

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關(guān)鍵詞： 用SiO2