Mattson Technology獲得光刻膠剝離系統(tǒng)新訂單

　　先進半導體工藝設備供應商Mattson Technology日前宣布從一家亞洲新客戶處獲得了Suprema光刻膠剝離系統(tǒng)訂單。該系統(tǒng)可用于先進邏輯器件生產(chǎn)，包括前端工藝及后端工藝。預計這些系統(tǒng)將于第四季度出貨。

本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/113309.htm