MEMS技術(shù)將迎來(lái)第三次應(yīng)用浪潮

　　高性能MEMS產(chǎn)品

　　ADI的iSensor運(yùn)動(dòng)傳感器產(chǎn)品系列新增兩款高度集成的精密MEMS慣性傳感器ADIS16135和ADIS16385，可以有效的幫助工業(yè)設(shè)備制造商實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、導(dǎo)航和控制功能。新傳感器能提供戰(zhàn)術(shù)級(jí)(<10度/小時(shí))陀螺儀性能，iSensor集成度和工廠校準(zhǔn)能力。ADIS16135iSensor精密角速率陀螺儀和ADIS16385iSensor6自由度慣性測(cè)量單元(IMU)均基于ADI公司的iMEMS(集成微機(jī)電系統(tǒng))慣性傳感器核心技術(shù)，能夠提供6度/小時(shí)偏置穩(wěn)定性和0.75度/√hr角度隨機(jī)游動(dòng)。兩款器件均經(jīng)過(guò)全面的工廠校準(zhǔn)，在-40°C至+85°C溫度范圍內(nèi)，靈敏度達(dá)到無(wú)可比擬的16ppm/°C，偏置穩(wěn)定性在0.003度/秒以內(nèi)。這些傳感器采用動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)SPI(串行外設(shè)接口)和寄存器接口提供簡(jiǎn)單的用戶接口和控制。

　　iSensor運(yùn)動(dòng)傳感器產(chǎn)品提供戰(zhàn)術(shù)級(jí)陀螺儀性能，使復(fù)雜的穩(wěn)定應(yīng)用和GPS輔助導(dǎo)航推測(cè)更容易實(shí)現(xiàn)。對(duì)于要求在極端環(huán)境下提供最高陀螺儀偏置精度的工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員，ADIS16135陀螺儀和ADIS16385多軸IMU是目前性價(jià)比最高的產(chǎn)品。

　　MEMS陀螺儀一直以來(lái)是最難設(shè)計(jì)和制造的MEMS器件，特別是當(dāng)許多新興工業(yè)自動(dòng)化和儀器儀表應(yīng)用要求高性能和低功耗時(shí)。與市場(chǎng)上的其它高性能MEMS陀螺儀相比，新款iMEMS陀螺儀功耗僅為競(jìng)爭(zhēng)性器件的十分之一，而且可以提供更高的穩(wěn)定性和抗振性能。iMEMS陀螺儀是基于ADI公司前三代MEMS陀螺儀開(kāi)發(fā)的第四代器件，采用先進(jìn)的差分四傳感器設(shè)計(jì)，可在強(qiáng)烈沖擊和振動(dòng)狀態(tài)下精確地工作。這種MEMS陀螺儀具有魯棒性能和僅6mA的低功耗特性，可有效地用于多種應(yīng)用，如機(jī)器人、工業(yè)儀器、航空以及用于高速列車的平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)。

　　ADI的ADXRS450iMEMS陀螺儀，專門(mén)用于惡劣環(huán)境中的角速率(旋轉(zhuǎn))檢測(cè)，以滿足不斷提高的精度、穩(wěn)定度和抗振動(dòng)抗沖擊需求。與設(shè)計(jì)用于消費(fèi)類應(yīng)用的運(yùn)動(dòng)傳感器相比，這些市場(chǎng)的MEMS傳感器需要提供更高得多的性能。ADXRS450有效地解決了汽車行業(yè)客戶的策略和技術(shù)需求。若要更出色地服務(wù)有著廣泛客戶群的中國(guó)市場(chǎng)，則需要更為技術(shù)更為全面的陀螺儀，除了提供高品質(zhì)技術(shù)策略還幫助降低成本并提高績(jī)效和市場(chǎng)收益。為此，我們新推出了高性價(jià)比的ADXRS652工業(yè)陀螺儀來(lái)滿足這一市場(chǎng)需求。ADXRS652是一款偏航角速度陀螺儀。它不僅采用了表面微加工工藝，內(nèi)置低成本、功能完整的角速率傳感器，還集成了所有必要的信號(hào)調(diào)理電子器件以產(chǎn)生與Z軸的角速率成比例的穩(wěn)定輸出電壓。通過(guò)外部電容建立0.01Hz至2500Hz的帶寬，并利用溫度輸出對(duì)傳感器執(zhí)行溫度校準(zhǔn)。這款器件的自測(cè)輸入還能提供機(jī)電激勵(lì)，測(cè)試傳感器和信號(hào)調(diào)理電路是否正常工作。ADXRS652抗沖擊能力達(dá)到2000g，專門(mén)針對(duì)工業(yè)應(yīng)用、慣性測(cè)量單元和平臺(tái)穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)。

　　綜上所述，ADI在MEMS領(lǐng)域的主要競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)在于：首先，ADI是唯一一家在產(chǎn)品陣列中提供low-g/high-g以及陀螺儀的廠商;其次，ADI在汽車安全傳感器領(lǐng)域具有非凡的經(jīng)驗(yàn)，ADI自1989年起便以安全氣囊傳感器為先導(dǎo)開(kāi)展MEMS業(yè)務(wù);第三，ADI的解決方案在振動(dòng)與沖撞穩(wěn)健性(陀螺儀)，加速器速率保持與寬頻感應(yīng)，超載反應(yīng)，持續(xù)自測(cè)以及低功率傳感器等方面具有卓越優(yōu)勢(shì);最后，ADI可以提供用于ECU與衛(wèi)星應(yīng)用的全套模擬及數(shù)字傳感器。

　　助力MEMS技術(shù)未來(lái)發(fā)展

　　從上世紀(jì)90年代早期MEMS開(kāi)始投入應(yīng)用，到隨后的10年，由消費(fèi)趨勢(shì)推動(dòng)的第二次MEMS技術(shù)應(yīng)用浪潮，直到今天已經(jīng)進(jìn)入的MEMS的第三次浪潮。高性能的MEMS加速度計(jì)和陀螺儀將在更多領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用，成千上萬(wàn)的人意識(shí)到MEMS在各行各業(yè)的所發(fā)揮的作用以及潛力。MEMS傳感器供應(yīng)商已經(jīng)沖破了可靠性、成本和大規(guī)模生產(chǎn)的障礙，使用者對(duì)MEMS更高性能的需求推動(dòng)了該領(lǐng)域的進(jìn)步和發(fā)展。目前，MEMS技術(shù)已能夠滿足各種各樣的客戶需求了，包括可靠性和安全性的增加，對(duì)醫(yī)療和工業(yè)領(lǐng)域中高精度測(cè)量和診斷的支持。

　　我們認(rèn)為，要在第三次浪潮中取勝，供應(yīng)商不僅應(yīng)該關(guān)注基本運(yùn)動(dòng)檢測(cè)或增加新功能，必須能夠應(yīng)對(duì)更多需求和挑戰(zhàn)，新型MEMS傳感器設(shè)計(jì)必須在所有條件下，包括在各種振動(dòng)和溫度差異，巨大幅度的沖擊的環(huán)境下，保持足夠的靈敏度、噪聲等關(guān)鍵特性。此外，設(shè)計(jì)人員必須提供有價(jià)值的系統(tǒng)性能改進(jìn)，從而實(shí)現(xiàn)過(guò)程的自動(dòng)化、并減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，從而降低成本。正如ADI的MEMS技術(shù)，它簡(jiǎn)化了運(yùn)動(dòng)檢測(cè)在工業(yè)、醫(yī)療、消費(fèi)電子、通信和汽車等眾多領(lǐng)域中的應(yīng)用，優(yōu)化了MEMS傳感器設(shè)計(jì)，提供更加強(qiáng)大的功能，更高的效率，縮小尺寸并降低整體成本，而這些努力必將大力推動(dòng)MEMS技術(shù)的在未來(lái)的發(fā)展和應(yīng)用。