新聞中心

EEPW首頁 > EDA/PCB > 業(yè)界動態(tài) > Altatech Semiconductor獲得德國科研機構(gòu)的CVD設備訂單

Altatech Semiconductor獲得德國科研機構(gòu)的CVD設備訂單

作者: 時間:2011-02-13 來源:Altatech 收藏

   Semiconductor獲得了一份多功能Alta平臺訂單,該訂單來自德國慕尼黑Fraunhofer Research Institution。該200mm Alta系統(tǒng)可用于等離子體增強工藝,也可用于低于氣壓的CVD工藝,F(xiàn)raunhofer中心將用該設備在硅晶圓和SOI晶圓上淀積介質(zhì)層。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/116709.htm


關鍵詞: Altatech CVD

評論


相關推薦

技術專區(qū)

關閉