Altatech Semiconductor獲得德國科研機構(gòu)的CVD設備訂單
Altatech Semiconductor獲得了一份多功能AltaCVD平臺訂單,該訂單來自德國慕尼黑Fraunhofer Research Institution。該200mm AltaCVD系統(tǒng)可用于等離子體增強CVD工藝,也可用于低于氣壓的CVD工藝,F(xiàn)raunhofer中心將用該設備在硅晶圓和SOI晶圓上淀積介質(zhì)層。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/116709.htm
評論