北方微電子等離子刻蝕系統(tǒng)中標(biāo)兩項(xiàng)目

　　近日，北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司佳音頻傳，繼高密度等離子刻蝕機(jī)中標(biāo)國(guó)家集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)項(xiàng)目后，ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機(jī)中標(biāo)上海藍(lán)光LED項(xiàng)目。ELEDE 330由北方微電子自主研制生產(chǎn)，是我國(guó)首臺(tái)直接面向LED大生產(chǎn)線的ICP刻蝕系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了北方微電子半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)在LED領(lǐng)域的成功擴(kuò)展。此次中標(biāo)，標(biāo)志著北方微電子LED刻蝕設(shè)備獲得市場(chǎng)主流生產(chǎn)線的充分肯定，使我國(guó)高端LED設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化水平得到了新的提升。

　　上海藍(lán)光科技有限公司是中央企業(yè)彩虹集團(tuán)控股的全國(guó)首家從事氮化鎵基LED外延片及芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，是國(guó)家“863”計(jì)劃光電子領(lǐng)域成果轉(zhuǎn)化基地，是國(guó)家發(fā)展與改革委員會(huì)確定的新材料專項(xiàng)產(chǎn)業(yè)化示范工程項(xiàng)目。