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MEMS壓力傳感器應(yīng)用

作者: 時間:2011-06-23 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

圖4 硅壓阻式實物

電容式利用技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀,上下二根橫隔柵成為一組電容式,上橫隔柵受壓力作用向下位移,改變了上下二根橫隔柵的間距,也就改變了板間電容量的大小,即△壓力=△電容量(圖5)。電容式壓力傳感器實物如圖6。

圖5 電容式壓力傳感器結(jié)構(gòu)

圖6 電容式壓力傳感器實物

壓力傳感器的

壓力傳感器廣泛于汽車電子:如TPMS、發(fā)動機機油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動機進氣歧管壓力傳感器(TMAP)、柴油機共軌壓力傳感器;消費電子:如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤,洗衣機、洗碗機、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器,空調(diào)壓力傳感器,洗衣機、飲水機、洗碗機、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器;工業(yè)電子:如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表、工業(yè)配料稱重等。

典型的MEMS壓力傳感器管芯(die)結(jié)構(gòu)和電原理如圖7所示,左是電原理圖,即由電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋,右是管芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品,如圖8所示。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個封裝內(nèi)(MCM),使產(chǎn)品設(shè)計師很容易使用這個高度集成的產(chǎn)品設(shè)計最終產(chǎn)品。

圖7 典型的MEMS壓力傳感器管芯(die)結(jié)構(gòu)和電原理

MEMS壓力傳感器Die的設(shè)計、生產(chǎn)、銷售鏈

MEMS壓力傳感器Die的設(shè)計、生產(chǎn)、銷售鏈如圖9所示。目前IC的4寸圓晶片生產(chǎn)線的大多數(shù)工藝可為MEMS生產(chǎn)所用;但需增加雙面光刻機、濕法腐蝕臺和鍵合機三項MEMS特有工藝設(shè)備。壓力傳感器產(chǎn)品生產(chǎn)廠商需要增加價格不菲的標(biāo)準(zhǔn)壓力檢測設(shè)備;

圖9 MEMS壓力傳感器Die的設(shè)計、生產(chǎn)、銷售鏈



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