MEMS技術的發(fā)展歷史

Memscap總裁兼首席執(zhí)行官Jean-Michel Karam表示：'我們和華新麗華的關系非常緊密。我們幫助他們建設晶圓廠，由我們做光學部分，他們做無線部分，這樣我們可以得到雙方的技術很快進入市場，我們兩家都會有第二供應商。'

Karam認為建設晶圓廠是啟動MEMS市場所需投資的一部分。他說：'很多公司都說他們有RF MEMS開關，但在諾基亞開始應用RF MEMS之前，他要了解的是你是否有每年供應一億只的能力，你需要為大批量做好準備。' Karam認為業(yè)界會得到標準化。他解釋說：'賺錢的最佳方法是盡量減少工藝數(shù)量，改動是在設計中而不是在工藝中，從技術上講這樣并不容易。'

他指出，其結果是在每個工業(yè)領域都有一些工藝變成'標準的'用于不同的大批量應用，一旦工藝標準化之后，經(jīng)濟壓力將驅動MEMS設計師不加修改地應用這些工藝。

靈活與穩(wěn)定

人們也許會期望意法半導體的Vigna預測主要的半導體公司以后將在MEMS上獲取收益，畢竟意法有批量生產的經(jīng)驗，在全世界都有晶圓廠可以插入MEMS工藝，同時與多家主要客戶有密切的聯(lián)系。

他表示：'大公司喜歡與大公司打交道，如果出了問題，這家大公司會控告另一家公司，所以一般不會出問題。當然新興公司更加敏捷，更加靈活并完全專注在MEMS上。'他也給MEMS企業(yè)提出了另一種方法，即將大公司的批量生產能力與新興公司的靈活與專注結合起來。

他相信：'第一個將MEMS部門分離出來的大公司一定會成功。'不過他否認意法半導體有讓MEMS部門獨立的計劃。

1999年從模擬器件公司分出來的Memsic就是一個很好的例子，盡管模擬器件公司還保留了自己的MEMS業(yè)務。事實上，Memsic還顯示出另一發(fā)展趨勢，即中國大陸和臺灣地區(qū)的崛起。 大陸與臺灣Memsic由北京大學研究生畢業(yè)的趙陽創(chuàng)辦，他于1993～1999年間任職于模擬器件公司微加工產品部。

趙陽對熱加速計特別感興趣，于是說服模擬器件公司讓他帶走該技術進行開發(fā)，作為回報模擬器件公司可在新公司里持有一定股份。他對于在MEMS上應用CMOS工藝技術深信不疑，現(xiàn)已做出高集成度加速計并嵌入到一個芯片的復雜邏輯里。

他介紹說：'我們把精力全部集中在CMOS MEMS上，成功的唯一途徑是依賴現(xiàn)有技術，開始發(fā)明之前應盡可能多地進行仿制。'Memsic利用臺積電作為代工廠生產0.6微米邏輯電路，然后將6英寸晶圓拿回來放到無錫的分公司制作MEMS結構。這樣做的確限制了Memsic，無法采用低溫后道CMOS加工以避免破壞晶圓上的電路，但這正是Memsic開發(fā)的技術。

趙陽表示：'這就是說我們可以把設計拿到任何一個代工廠，即使必須修改設計才能符合工藝我們也愿意去做。臺積電沒有MEMS工藝，所以這部分我們自己做。'

但臺積電是Memsic的投資方之一，它會長期都沒有MEMS部門嗎?

在上海有幾家8英寸晶圓代工廠正在建設，投資上百億美元，因此中國將成為芯片生產的中心之一。臺灣地區(qū)的代工廠也許會開發(fā)更加專業(yè)化的工藝，包括支持MEMS的工藝，以便在他們的舊工廠里運行。 臺積電技術總監(jiān)胡正明在最近一次接受EE Times采訪時說道：'我們有興趣涉入更多MEMS業(yè)務，前提是所需要的技術與我們基本半導體制造技術合拍。......我把CMOS技術看成是一種上面能放光器件、MEMS甚至碳納米管的平臺。'

Roger Grace認為：'中國大陸和臺灣地區(qū)都在加緊發(fā)展MEMS，他們想在MEMS上做出微電子那樣的成就來，我們需要密切注視這一現(xiàn)象。'

未來充滿不確定性因素

工程師們將繼續(xù)研究數(shù)百個MEMS概念的工藝技術和封裝方案，標準化將使人們拋棄一些在硅片制造中喜歡使用的技術。 在美國，反應敏捷富有創(chuàng)意的新興公司將把MEMS應用推向前進;在歐洲，幾個分離出來的公司也不甘人后;而中國大陸和臺灣地區(qū)則將在MEMS上重復他們在微電子制造領域所取得的成功。

但是不要指望MEMS會像微電子在20世紀60和70年代那樣突然興旺起來，MEMS領域仍然變化多端且困難重重。MEMS是微電子加微機械，在所有工業(yè)領域具有上百種應用。從這點來看可以期望MEMS市場的長期發(fā)展會比'純粹的'微電子要好，隨著代工服務的發(fā)展，工程師將越來越多地使他們的設計適應工藝技術。 也許MEMS現(xiàn)在能起飛最重要的原因是微機械分析的復雜性隨著千兆赫茲處理器的出現(xiàn)在工程師桌面就能解決，留下的一個問題將是MEMS技術有無足夠的時間在其享受勝利果實之前把'納米技術'遠遠拋在后面。