應(yīng)用材料為8.5代平面顯示器制造商推出高產(chǎn)能生產(chǎn)系統(tǒng)

應(yīng)用材料公司平面顯示事業(yè)部AKT近日宣布推出第一批在全球最大的8.5代（2.2米x~2.5米）玻璃基板上制造大尺寸LCD電視屏幕的平面顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)。全新設(shè)計(jì)的AKT-55K EBT (電子束檢測(cè))，AKT-55K PECVD(等離子加強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)和AKT- NEW ARISTO™ 2200彩色濾光板濺射系統(tǒng)在8.5代基板上實(shí)現(xiàn)了制造6塊55英寸LCD電視屏的高效率生產(chǎn)。

新的8.5代基板將會(huì)對(duì)TFT*-LCD電視市場(chǎng)的增長(zhǎng)做出貢獻(xiàn)，市場(chǎng)研究機(jī)Display Search預(yù)測(cè)該市場(chǎng)將在2006年突破4000萬臺(tái)。應(yīng)用材料公司新業(yè)務(wù)新產(chǎn)品事業(yè)部和AKT事業(yè)部資深副總裁兼總經(jīng)理Mark Pinto表示“應(yīng)用材料公司通過其AKT事業(yè)部向客戶提供個(gè)性化的產(chǎn)品、技術(shù)以及全球的服務(wù)支持，不斷幫助他們降低平面顯示器生產(chǎn)成本。通過起始的晶體管成型PECVD（等離子加強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）技術(shù)、和隨后的電子束檢測(cè)技術(shù)、以及現(xiàn)在所從事的彩色濾光濺射薄膜技術(shù)的開發(fā)，應(yīng)用材料公司不斷提升其在平面顯示設(shè)備行業(yè)中的地位。結(jié)合我們?cè)诖竺娣e處理工藝上的領(lǐng)先地位和納米制造技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)，這些新產(chǎn)品讓我們站在了顯示設(shè)備行業(yè)的最前沿，并使我們能夠向客戶提供高產(chǎn)能、低成本、和高可靠性的新一代制造技術(shù)。”

AKT-55K EBT（電子束檢測(cè)）系統(tǒng)具有業(yè)界最快最精確的像素檢測(cè)技術(shù)和最低的總體運(yùn)行成本。該系統(tǒng)運(yùn)用7個(gè)電子束提供快速精確的像素矩陣檢測(cè)。無接觸式的檢測(cè)技術(shù)確保在測(cè)試昂貴的LCD電視面板時(shí)不會(huì)損壞或劃傷表面。

AKT-55K PECVD （等離子加強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）系統(tǒng)運(yùn)用了已被驗(yàn)證的多腔體平臺(tái)結(jié)構(gòu)和技術(shù)，該技術(shù)使得AKT在過去13年中成為平面CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備的領(lǐng)導(dǎo)者。AKT-55K系統(tǒng)對(duì)于介電薄膜(SiNx, SiOx 和 SiON)及半導(dǎo)體薄膜(a-Si 和 摻雜了的 a-Si)作了優(yōu)化，這使得它每小時(shí)可以處理超過60片單層薄膜基底。

AKT-NEW ARISTO 2200是用于彩色濾光片制造的具有最高產(chǎn)能和靶材利用率的全自動(dòng)垂直濺射系統(tǒng)。它基于源自Applied Films領(lǐng)先的NEW ARISTO系統(tǒng)概念，采用創(chuàng)新的低缺陷高成品率平面陰極設(shè)計(jì)，提供了業(yè)界最高的生產(chǎn)能力。