應用材料為8.5代平面顯示器制造商推出高產能生產系統(tǒng)

應用材料公司平面顯示事業(yè)部AKT近日宣布推出第一批在全球最大的8.5代（2.2米x~2.5米）玻璃基板上制造大尺寸LCD電視屏幕的平面顯示器生產系統(tǒng)。全新設計的AKT-55K EBT (電子束檢測)，AKT-55K PECVD(等離子加強化學氣相沉積)和AKT- NEW ARISTO™ 2200彩色濾光板濺射系統(tǒng)在8.5代基板上實現(xiàn)了制造6塊55英寸LCD電視屏的高效率生產。

新的8.5代基板將會對TFT*-LCD電視市場的增長做出貢獻，市場研究機Display Search預測該市場將在2006年突破4000萬臺。應用材料公司新業(yè)務新產品事業(yè)部和AKT事業(yè)部資深副總裁兼總經理Mark Pinto表示“應用材料公司通過其AKT事業(yè)部向客戶提供個性化的產品、技術以及全球的服務支持，不斷幫助他們降低平面顯示器生產成本。通過起始的晶體管成型PECVD（等離子加強化學氣相沉積）技術、和隨后的電子束檢測技術、以及現(xiàn)在所從事的彩色濾光濺射薄膜技術的開發(fā)，應用材料公司不斷提升其在平面顯示設備行業(yè)中的地位。結合我們在大面積處理工藝上的領先地位和納米制造技術上的優(yōu)勢，這些新產品讓我們站在了顯示設備行業(yè)的最前沿，并使我們能夠向客戶提供高產能、低成本、和高可靠性的新一代制造技術?！?

AKT-55K EBT（電子束檢測）系統(tǒng)具有業(yè)界最快最精確的像素檢測技術和最低的總體運行成本。該系統(tǒng)運用7個電子束提供快速精確的像素矩陣檢測。無接觸式的檢測技術確保在測試昂貴的LCD電視面板時不會損壞或劃傷表面。

AKT-55K PECVD （等離子加強化學氣相沉積）系統(tǒng)運用了已被驗證的多腔體平臺結構和技術，該技術使得AKT在過去13年中成為平面CVD（化學氣相沉積）設備的領導者。AKT-55K系統(tǒng)對于介電薄膜(SiNx, SiOx 和 SiON)及半導體薄膜(a-Si 和 摻雜了的 a-Si)作了優(yōu)化，這使得它每小時可以處理超過60片單層薄膜基底。

AKT-NEW ARISTO 2200是用于彩色濾光片制造的具有最高產能和靶材利用率的全自動垂直濺射系統(tǒng)。它基于源自Applied Films領先的NEW ARISTO系統(tǒng)概念，采用創(chuàng)新的低缺陷高成品率平面陰極設計，提供了業(yè)界最高的生產能力。