超越摩爾定律的新技術(shù)MEMS

　　據(jù)Yole Développement預(yù)測，2010年及隨后四年內(nèi)MEMS市場將重啟12%的年比凈增長率，而MEMS代工將超過25%增長率。當(dāng)前的經(jīng)濟(jì)衰退使得許多系統(tǒng)制造商停止內(nèi)部制造，轉(zhuǎn)向外包代工;晶圓級封裝和采用TSV的3-D芯片堆疊也將驅(qū)動(dòng)MEMS代工的成長。面對未來的巨大成長空間，MEMS是走CMOS IC的專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化合作之路還是走非標(biāo)準(zhǔn)的特殊工藝之路?來自學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界的專家也針對于此展開了激烈的辯論。

　　北京大學(xué)李志宏教授認(rèn)為，“One MEMS, One Process”，MEMS的模式開始應(yīng)該是從不標(biāo)準(zhǔn)到標(biāo)準(zhǔn)再到不標(biāo)準(zhǔn)。MEMS的機(jī)械部分是IC所沒有的，起始之路是不標(biāo)準(zhǔn)的;然后由于制造成本昂貴， MEMS廠商可能尋求Foundry和標(biāo)準(zhǔn)的工藝，但無疑會犧牲MEMS器件本身的特點(diǎn)和性能，因此有一個(gè)階段MEMS會向幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化方向靠近;但是最終，MEMS會出現(xiàn)很多不同的分支，呈現(xiàn)不標(biāo)準(zhǔn)化。SUSS的龔里表示，MEMS有硅基的、非硅的、氧化礬和氧化鐵的等，材料不同，設(shè)計(jì)也不同，且客戶對于MEMS產(chǎn)品的需求多樣化，沒有辦法去標(biāo)準(zhǔn)化。上海交大微納科學(xué)技術(shù)研究院趙小林教授表示，硅基MEMS可能走向標(biāo)準(zhǔn)化IC工藝，但還有很多非硅、流體或磁MEMS產(chǎn)品，這些要形成標(biāo)準(zhǔn)化非常困難。ASMC的孫臻表示，每個(gè)MEMS公司都有自己產(chǎn)品的競爭優(yōu)勢，而Foundry所做的更多是降低成本。因MEMS系統(tǒng)設(shè)計(jì)涉及光、機(jī)、電與材料等技術(shù)領(lǐng)域，量小品種多，不易發(fā)展出標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)出模式，因此產(chǎn)業(yè)鏈還需要一點(diǎn)時(shí)間醞釀。而目前MEMS大廠也以IDM居多。對于中國MEMS產(chǎn)業(yè)來說，更多的需要通過合作形成一個(gè)“虛擬MEMS IDM”。

　　上海復(fù)旦大學(xué)鮑敏航教授說，MEMS產(chǎn)業(yè)已有很多成功者，但是更多的還是在研發(fā)，要把產(chǎn)品進(jìn)行量產(chǎn)，但很多公司沒有太多資金去建立生產(chǎn)線，因此需要實(shí)現(xiàn)工藝的標(biāo)準(zhǔn)化，小公司就有機(jī)會通過Foundry去實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品化，而MEMS產(chǎn)業(yè)也因此獲得更多創(chuàng)新產(chǎn)品，未來表面硅工藝會慢慢取代體硅工藝。Coventor的覃裕平和Cadence的張劍云同時(shí)指出，需求是行業(yè)發(fā)展的最終動(dòng)力，要走大眾化消費(fèi)品的路線，MEMS必須標(biāo)準(zhǔn)化，否則成本很難降低。MEMSIC的楊宏愿認(rèn)為，MEMS必須標(biāo)準(zhǔn)化是個(gè)商業(yè)考量，它需要通過標(biāo)準(zhǔn)化來降低成本和獲得利潤。盡管市場上存在許多種MEMS，但最終市場會做出選擇，如果有些不適合產(chǎn)業(yè)化，就會“慢慢死”。TSMC的劉信生表示，MEMS的發(fā)展離不開CMOS，對于MEMS產(chǎn)品，不僅要在實(shí)驗(yàn)室獲得成果，更重要的是在市場上實(shí)現(xiàn)規(guī)?；@得利潤，與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝的融合則是助其成功的最大利器。