利用MEMS制作微型攜帶用燃料電池組件

除此之外研究人員應(yīng)用濺鍍技術(shù)在Porous Silicon表面制作觸媒電極，D·Arrigo與Hayase氏則以電解電鍍法取代濺鍍技術(shù)，試圖獲得更高性能的觸媒電極。

使用網(wǎng)版印刷技術(shù)將白金Carbon Paste圖案化制成觸媒電極的Pichonat氏將質(zhì)子(Proton)傳導(dǎo)性樹脂?(Nafion, Du-PONT)浸泡于Porous Silicon，再將它當(dāng)作PEM制成微型燃料電池；Gold氏則將Porous Silicon浸泡于硫酸制成PEM，一連串繁瑣加工主要目的希望PEM不易受到生成水或是甲醇膨潤，進(jìn)而防止PEM剝落。

圖9 Cell串聯(lián)連接方式

結(jié)語

以上介紹利用MEMS技術(shù)制作閥、改質(zhì)器、噴射器等微型燃料電池組件，以及微型燃料電池的發(fā)展動(dòng)向。

目前可攜式電子產(chǎn)品大多使用鋰離子電池或是鎳氫電池，不過傳統(tǒng)充電電池的能量密度極限以及惱人的充電時(shí)間，造成使用自由度受到大幅限制，因此微型燃料電池的發(fā)展受到全球高度重視，其中又以日本廠商最積極。事實(shí)上已經(jīng)有部份行動(dòng)電話已經(jīng)開始使用微型燃料電池，一般認(rèn)為隨著次世代行動(dòng)電話問世，未來微型燃料電池勢必成為可攜式電子產(chǎn)品主要電力來源。