應(yīng)用材料公司EBR檢視系統(tǒng)加速新型顯示器工廠產(chǎn)能爬坡

　　近日，應(yīng)用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業(yè)的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能顯著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型顯示產(chǎn)品推向市場。

　　圖1 應(yīng)用材料公司平板顯示設(shè)備高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統(tǒng)

　　隨著顯示產(chǎn)業(yè)的增長和技術(shù)的變革，消費者對顯示產(chǎn)品的視覺需求越來越高，這反應(yīng)在電視及手機等消費電子產(chǎn)品上的高解析度和尺寸的增長。以電視為例，解析度從HD發(fā)展到如今的4K，預(yù)計將來會出現(xiàn)8K，甚至更高的解析度;尺寸上，也從之前的40英寸一直發(fā)展到現(xiàn)在的55英寸，未來預(yù)計還會有70英寸甚至更大的電視出現(xiàn)，電視平均尺寸每年以1.5英寸的速度增長，這意味著每年需要增加三座工廠。55英寸以上電視需求的上升，也將推動10代線及更高世代產(chǎn)線的投資和發(fā)展;手機，其解析度和尺寸的變化趨勢也同電視一樣不斷增加，而相應(yīng)的技術(shù)也逐漸從LCD轉(zhuǎn)為OLED或柔性OLED，甚至形狀上也從直板到柔性、卷性，甚至折疊式。應(yīng)用材料公司副總裁，大中華區(qū)面板業(yè)務(wù)總經(jīng)理郭怡之稱“從視覺上的要求將會帶來技術(shù)上的差異化，第一個是背板技術(shù)，將會從非晶硅轉(zhuǎn)換為低溫多晶硅或是金屬氧化物，這兩種技術(shù)的電子遷移移速率都比較快，因而晶體管可以做的比較小，可以滿足高分辨率和尺寸上的需求;另外一個是在顯示屏上看到越來越多的OLED的需求，包含硬板的OLED和柔性的OLED，這一顯示屏的趨勢將為應(yīng)用材料公司提供了一個很好的發(fā)展契機。”

　　圖2 顯示技術(shù)的發(fā)展

　　隨著半導(dǎo)體制程進入次微米，上世紀(jì)90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學(xué)檢視，如今半導(dǎo)體工藝制程的在線SEM檢視率為90%。目前顯示行業(yè)， 我們?nèi)砸蕾噦鹘y(tǒng)離線SEM，而離線SEM檢視技術(shù)現(xiàn)在仍面臨以下不足：

　　1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過程需損壞產(chǎn)品;3)檢視周期長;4)樣本率低;5)信息流失，客戶無法得到完整信息。

　　應(yīng)用材料公司用于OLED和高分辨率LCD的電子束檢視系統(tǒng)結(jié)合半導(dǎo)體技術(shù)平臺和SEM顯示技術(shù)，克服了離線SEM檢視技術(shù)的不足，可以低電壓、無損傷、快速地完成檢視的整個流程。“由于離線SEM技術(shù)需要對樣品切割、鍍膜等步驟，這不僅損壞了器件，還會大大降低工作效率，對于一個熟練的技術(shù)員，一天最多只能檢測20個樣本，而EBR不需要切割玻璃和鍍膜，一個技術(shù)員一天可以完成上千點樣本檢測，檢測到的缺陷可以繼續(xù)后續(xù)制程的處理，觀察該缺陷是否是致命缺陷。同時，EBR系統(tǒng)可以檢測到AOI(Automatic Optic Inspection，自動光學(xué)檢測)設(shè)備無法檢測到的缺陷，能夠更精準(zhǔn)地檢測缺陷。”應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部良率技術(shù)部總經(jīng)理Peter D. Nunan介紹稱，“對于我們來說，速度是最重要的，現(xiàn)在一個小時可以檢測一百個缺陷，未來十年內(nèi)我們將不停地加快速度，對于我們的客戶來說，EBR系統(tǒng)將會成為他們應(yīng)對新技術(shù)挑戰(zhàn)，提高產(chǎn)能和產(chǎn)品良率的利器，減少解決難題所需的時間。”

　　圖3 EBR系統(tǒng)加速檢測速度和良率爬坡