高精度直流微電阻測(cè)試儀設(shè)計(jì)
本章主要對(duì)高精度微電阻測(cè)試儀的相關(guān)基礎(chǔ)理論進(jìn)行研究。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201612/333282.htm電阻按其大小可以分為高電阻(100k以上)、中電阻(1到l00k.)和微電阻(1.以下),本課題主要研究微歐姆數(shù)量級(jí)別電阻的阻值測(cè)量。
電阻測(cè)量通常采用加電流測(cè)電壓的方法,微電阻測(cè)量的方法也不例外??紤]到微電子阻值非常微小,所以,除了要精確控制測(cè)試電流并準(zhǔn)確測(cè)量出待測(cè)電阻上的微弱電壓外,同時(shí)還要考慮消除導(dǎo)線電阻對(duì)測(cè)量值的影響,并且將系統(tǒng)誤差降低到最小程度,以達(dá)到高精度測(cè)量微電阻阻值的目的。
2.1 電阻測(cè)量基本原理
電阻測(cè)量的墓本原理非常簡(jiǎn)單,即采用伏安法(如圖2.1所示),以給定電流I通過(guò)電阻R,測(cè)量R兩段的電壓值U,根據(jù)歐姆定律R=u/I即可得到電阻值。
但是由于檢測(cè)電路中存在諸如導(dǎo)線電阻、接觸電勢(shì)、溫差電勢(shì)和電化學(xué)電勢(shì)等的影響,當(dāng)電阻值比較大時(shí),這些影響可以被忽略不計(jì)。而如果電阻值極其微小,這些影響帶來(lái)的誤差絕對(duì)值甚至可能超過(guò)待測(cè)電阻本身數(shù)個(gè)數(shù)量級(jí)時(shí),就必須要研究這些誤差從何而來(lái)、如何降低乃至消除,才可能以較高精度的測(cè)量出該微電阻的電阻值。
2.2直流微電阻測(cè)量的誤差分析
用伏安法測(cè)量電阻時(shí),用的是直流電流源;而微小電阻值則對(duì)應(yīng)著微弱的信號(hào)。所以,有必要首先研究普遍意義上的微弱直流信號(hào)檢測(cè)中的噪聲,然后再具體到直流微電阻測(cè)量中的誤差來(lái)源。
2.2.1微弱直流信號(hào)檢測(cè)的噪聲理論
一般可以從兩個(gè)角度來(lái)定義干擾噪聲,一是從回路角度定義,由于電荷載體的隨機(jī)運(yùn)動(dòng)所導(dǎo)致的電壓或電流的隨機(jī)波動(dòng)所表現(xiàn)出來(lái)的噪聲;二是從信號(hào)分析的角度出發(fā),污染或干擾有用信號(hào)的不期望的信號(hào)都被稱為噪聲
干擾噪聲的類型有很多種,對(duì)不同的類型的干擾噪聲信號(hào)應(yīng)采取不同的檢測(cè)方法。在進(jìn)行信號(hào)檢測(cè)前,應(yīng)深入分析信號(hào)的本質(zhì),明確檢測(cè)的對(duì)象,才能確定檢測(cè)原理、方法和儀器等。
2.2.1.1檢測(cè)電路內(nèi)部的固有噪聲源
檢測(cè)電路元件內(nèi)部產(chǎn)生的噪聲稱為固有噪聲,它是由電荷載體的隨機(jī)運(yùn)動(dòng)所引起的。
1.導(dǎo)體本身的熱噪聲導(dǎo)體的熱噪聲
是指任何導(dǎo)體即使沒(méi)有連接到電源,也沒(méi)有任何電流經(jīng)過(guò)該導(dǎo)體,也會(huì)在其兩端也會(huì)呈現(xiàn)噪聲電壓起伏的情形。熱噪聲是由電阻內(nèi)部的電子隨機(jī)不規(guī)則的熱運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的,其幅度大小取決于溫度,溫度越高,導(dǎo)體內(nèi)自由電子熱運(yùn)動(dòng)越激烈,噪聲電壓就越高;一旦其溫度降低,熱噪聲就會(huì)減小。其幅度大小也與導(dǎo)體的電阻值有關(guān),對(duì)于大電阻來(lái)說(shuō)導(dǎo)體的熱噪聲的影響相應(yīng)的小一些,而對(duì)于微電阻來(lái)說(shuō),其影響就很大了。對(duì)于檢測(cè)林v級(jí)甚至nV級(jí)微弱信號(hào)的系統(tǒng)來(lái)說(shuō),熱噪聲對(duì)電」阻的測(cè)量精度的不利影響是不容忽視的。
2.導(dǎo)體間的接觸噪:聲接觸噪聲又叫1/f噪聲,由兩種導(dǎo)體的接觸點(diǎn)電導(dǎo)的隨機(jī)漲落引起的,凡是有導(dǎo)體接觸不理想的器件都存在接觸噪聲;1/f噪聲電流的幅度分布為高斯型,其功率譜密度函數(shù)今Sf(f)正比于工作頻率f的倒數(shù),今(f)可表示為:
由于Sf(f)正比于1了,頻率越低,這種噪聲的功率譜密度越大,在低頻段1/f噪聲的幅度可能很大;電阻內(nèi)部由于阻值的波動(dòng)而產(chǎn)生的一種過(guò)量噪聲也是一種1/f噪聲;下面給出了幾種電阻的過(guò)量噪聲電壓有效值(以電阻兩端每1v電壓,10倍頻范圍內(nèi)測(cè)得):
純碳阻:0.1一3.0uv
碳膜電阻:0.05一0.3uv
金屬膜電阻:0.02一0.2uv
所以,為了能夠有效地測(cè)量微弱信號(hào),應(yīng)盡可能地減小測(cè)量帶寬 。
3.爆裂噪聲
引起爆裂噪聲的原因是半導(dǎo)體中的雜質(zhì)(一般為金屬雜質(zhì))隨機(jī)發(fā)射或捕獲PN結(jié)中的載流子。爆裂噪聲通常由一系列寬度不同,而幅度基本相同的隨機(jī)電流脈沖組成,脈沖寬度一般為幾微秒一0.15量級(jí),脈沖幅度一般為0.01“A一0.001林A,其出現(xiàn)的幾率小于幾百Hz,爆裂噪聲取決于導(dǎo)體的制作工藝和導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)狀況。如果將爆裂噪聲放大并送到喇叭中,可聽到類似爆米花的聲音。由于爆裂噪聲是電流型噪聲,因此應(yīng)盡可能的減小電路中相關(guān)電阻的阻值,同時(shí)應(yīng)采用濾波措施 。
2.2.1.2檢測(cè)電路外部的干擾噪聲
檢測(cè)電路所處環(huán)境存在的噪聲稱為外部干擾噪聲,這種噪聲是由環(huán)境決定的,而不是由內(nèi)部電路引起,屬于外部環(huán)境噪聲。某個(gè)外部干擾源產(chǎn)生噪聲,并經(jīng)過(guò)一定的途徑將噪聲禍合到信號(hào)檢測(cè)電路,從而形成對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的外部干擾噪聲{7]。外部干擾噪聲有很多種類型,如市電50Hz交流干擾、電臺(tái)的調(diào)幅廣播信號(hào)或電源的開關(guān)火花干擾、脈沖激光或雷達(dá)發(fā)射引起的寬帶干擾、宇宙射線、雷電、元件或部件的機(jī)械振動(dòng)產(chǎn)生顫噪效應(yīng)。常見的外部噪聲主要包括因地線回路形成的地電位噪聲和工頻噪聲。
地電位差噪聲是由信號(hào)源和測(cè)量?jī)x器都連接到同一地線上時(shí)形成的地線回路所引入的噪聲。在地線上有許多的接地點(diǎn),而不同接地點(diǎn)處就有不同電位,在不同點(diǎn)的很小的電位差就能在電路系統(tǒng)中形成較大的電流并產(chǎn)生相當(dāng)大的電壓降,這種噪聲對(duì)微小電阻的測(cè)量精度影響較大。這種外部噪聲可以用隔離并且將整個(gè)測(cè)量電路系統(tǒng)以同一點(diǎn)接地的辦法來(lái)消除。
工頻噪聲對(duì)直流信號(hào)測(cè)量的影響相當(dāng)明顯,常見的工頻干擾源有電力線產(chǎn)生的工頻電場(chǎng)和工頻磁場(chǎng),電力線和電源變壓器產(chǎn)生的工頻磁場(chǎng)、電機(jī)啟動(dòng)器產(chǎn)生的諧波干擾等,工頻噪聲是對(duì)微電阻的測(cè)量回路影響較大。
環(huán)境干擾噪聲對(duì)檢測(cè)結(jié)果影響的大小與檢測(cè)電路的布局和結(jié)構(gòu)密切相關(guān),其特性既取決于干擾源的特性,又取決于禍合途徑的特性,而與電路中元件的優(yōu)劣無(wú)關(guān);干擾噪聲源功率要比檢測(cè)電路中有用信號(hào)的功率大得多,經(jīng)過(guò)揭合途徑后,噪聲功率大為減弱,但相對(duì)于微弱的有用信號(hào)可能還是十分可觀的匯9]。因此,必須要抑制外來(lái)環(huán)境的干擾源,從而確保微電阻測(cè)試儀的高精度要求。
2.2.2直流微電阻測(cè)量的誤差來(lái)源
基于微弱直流信號(hào)的噪聲理論,外部干擾噪聲存在于環(huán)境中,并不受檢測(cè)電路控制,因此,在直流微電阻測(cè)量中,主要研究如何降低內(nèi)部固有噪聲源對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
在微電阻測(cè)量中,有以下幾種內(nèi)部固有噪聲誤差來(lái)源,導(dǎo)體內(nèi)部的熱噪聲會(huì)帶來(lái)溫差電勢(shì)誤差,導(dǎo)體間接觸噪聲會(huì)帶來(lái)接觸電勢(shì)誤差,接觸電勢(shì)和溫差電勢(shì)的共同作用產(chǎn)生熱電勢(shì);導(dǎo)體和環(huán)境之間因?yàn)殡娮訕O化也會(huì)產(chǎn)生電化學(xué)電動(dòng)勢(shì)誤差;而且測(cè)量電路本身也存在失調(diào)和溫差誤差。
2.2.2.1熱電勢(shì)
熱電勢(shì)是微弱直流電壓測(cè)量中最常見的誤差源,熱電勢(shì)包括接觸電勢(shì)和溫差電勢(shì)。
接觸電勢(shì)是由兩種不同的導(dǎo)體內(nèi)部因電子密度不同而在接觸面上擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)造成的,并且隨著溫度變化而變化。電子測(cè)量系統(tǒng)中,存在著多種導(dǎo)體,如銅、金、銀、錫、鍺、碳、鉛、氧化銅等導(dǎo)體,則測(cè)量系統(tǒng)中勢(shì)必會(huì)存在接觸電勢(shì)。測(cè)量系統(tǒng)放大電路內(nèi)部的接觸電勢(shì)的影響可采用多種技術(shù)加以消除,但是信號(hào)輸入回路的接觸電勢(shì)的影響消除的難度較大,因此應(yīng)盡可能的采用同質(zhì)材料進(jìn)行連接。
同一種導(dǎo)體當(dāng)其兩端溫度不同時(shí),高溫端電子向低溫端遷移運(yùn)動(dòng)從而造成溫差電勢(shì),這一現(xiàn)象又稱為湯姆遜效應(yīng)。顯然,電子測(cè)量系統(tǒng)存在溫度場(chǎng)的分步不均現(xiàn)象:元器件內(nèi)外溫度不同,同一元器件不同的區(qū)域溫度不同,所以必然存在溫差電勢(shì)。雖然電子測(cè)量系統(tǒng)內(nèi)部的溫差電勢(shì)的影響可以消除,但信號(hào)輸入回路的接觸電勢(shì)的影響有時(shí)很難消除,這時(shí),盡可能的保持測(cè)量系統(tǒng)溫度場(chǎng)分布均勻。
如前所述,熱電勢(shì)是由不同材料的導(dǎo)體接觸以及導(dǎo)體結(jié)點(diǎn)溫度的差異造成的。
如圖2.2所示:
A、B為兩種不同材料的導(dǎo)體,雙、幾處為兩導(dǎo)體接觸結(jié)點(diǎn)的溫度,則產(chǎn)生的熱電勢(shì)為氣。為:
其中,么,為不同材料導(dǎo)體之間接觸時(shí)的熱電勢(shì)常數(shù),單位為。v/℃下面給出了幾種金屬接觸時(shí)的么,值:
由上可見,雖然銅一銅接觸所產(chǎn)生的熱電動(dòng)勢(shì)很小,但如果銅質(zhì)材料連接不良,并且存在氧化時(shí),熱電勢(shì)對(duì)微弱直流信號(hào)測(cè)量的影響是相當(dāng)大的 。
2.2.2.2化學(xué)電動(dòng)勢(shì)
電化學(xué)效應(yīng)是微弱直流電壓測(cè)量中另一個(gè)主要的誤差來(lái)源,它實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)電極之間電化學(xué)效應(yīng)產(chǎn)生的微弱的電池效應(yīng)。例如,常用的環(huán)氧樹脂印刷線路板,當(dāng)清潔不夠時(shí)有一些沾污或助焊劑等,就可能產(chǎn)生nA量級(jí)的誤差電流。如果溫度高或被沾污,材料的絕緣電阻會(huì)大大降低。高濕度會(huì)引起材料變形或吸收水分,而沾污則可能來(lái)源于人的體油、鹽或焊料等。沾污首先降低絕緣電阻,如果再加上高濕度,會(huì)形成導(dǎo)電通路,甚至形成大串聯(lián)電阻的化學(xué)電池。這種電池可能產(chǎn)生的誤差電流在PA到nA量級(jí)。與熱電勢(shì)一樣,系統(tǒng)內(nèi)部的化學(xué)電勢(shì)的影響是可以消除的,但信號(hào)輸入回路的電化學(xué)電勢(shì)的影響有時(shí)難以消除 。
2.3直流微電阻測(cè)量的誤差處理方法
測(cè)試電流流過(guò)弱電阻時(shí),無(wú)法精確測(cè)量?jī)啥宋⑷蹼妷盒盘?hào)的原因主要是直流誤差源的影響。:這些誤差源主要包括:熱電勢(shì)、電化學(xué)電勢(shì)、放大電路本身的失調(diào)和溫漂等。通常情況下,誤差信號(hào)的幅度遠(yuǎn)大于待測(cè)電壓信號(hào)從而將其淹沒(méi),放大待測(cè)信號(hào)的同時(shí)也會(huì)放大誤差信號(hào)。只有在消除或減小誤差源的情況下進(jìn)行放大,測(cè)量才有意義 。針對(duì)上小節(jié)提到的直流微電阻測(cè)量中的熱電勢(shì)誤差、化學(xué)電動(dòng)勢(shì)誤差和測(cè)量電路本身的失調(diào)誤差,首先可以從物理手段上去解決,其次可以采用電流反向三次測(cè)量法來(lái)消除誤差,最后還可以選擇合適的電路接線方法,以最大限度的排除誤差對(duì)微電阻電陰一值測(cè)量的干擾。
2.3.1消除誤差的物理手段
為了減小熱電勢(shì)誤差,在設(shè)計(jì)電路時(shí)應(yīng)盡可能選擇同質(zhì)的測(cè)量導(dǎo)線,并且盡可能減小測(cè)量端與測(cè)量環(huán)境的溫差。將儀器電路中的所有結(jié)點(diǎn)位置靠近放置,并保持測(cè)試儀器內(nèi)部的通風(fēng)良好,盡可能保持各元器件的溫度一致;應(yīng)在測(cè)量前使儀器預(yù)熱一段時(shí)間,以使測(cè)量?jī)x器內(nèi)部的溫度與環(huán)境溫度盡可能的接近,以使測(cè)量的誤差盡可能的小。
為了減小化學(xué)電動(dòng)勢(shì)的影響,應(yīng)選擇不吸水的材料,同時(shí)要注意保持絕緣體的清潔衛(wèi)生,不要被污物或灰塵附上,如發(fā)現(xiàn)絕緣體上附有污垢應(yīng)及時(shí)的進(jìn)行清潔處理,這是消除和減少化學(xué)電動(dòng)勢(shì)的誤差的物理手段。
我們用物理手段只能夠消除部分誤差,諸如熱電動(dòng)勢(shì)、電化學(xué)電勢(shì)、測(cè)量電路失調(diào)等誤差不能用物理手段完全的消除,總還是部分存在的。下面我們從電路接線方法和二次測(cè)量法上來(lái)探討消除誤差的方法。
2.3.2電路接線方法設(shè)計(jì)
常用的電阻測(cè)量接線方法一般有四種,根據(jù)測(cè)量所用饋線的根數(shù),可分二線法、三線法和四線法,另外還有一種也是比較常見的電橋法測(cè)量電阻接線方式。
下面分別來(lái)看二線法,。三線法、電橋法和四線法的原理和優(yōu)缺點(diǎn)。
2.3.2.1二線法測(cè)電阻原理
二線法測(cè)電阻的電路示意圖,如圖2.3所示:
其中,待測(cè)電,阻為尺,測(cè)量接觸電阻和引線電阻分別用尺和凡表示,從圖中可以看出,未知電阻凡測(cè)出的電阻值將是凡、尺和凡阻值之和。所以,只有在待測(cè)電阻較大的時(shí)候才能采用此方法,如果被測(cè)電阻較小,甚至小于測(cè)量導(dǎo)線電阻,那么該方法就會(huì)產(chǎn)生較大的誤差。因此,對(duì)于測(cè)量本身電阻值很小的微電阻,二線法是不適合的,它只適合于較大電阻的測(cè)量接線。
2.3.2.2三線法測(cè)電阻原理
采用三線法測(cè)電阻的接線是被測(cè)電阻凡與接地線相接。原理如圖2.4所示。
圖中,待測(cè)電阻」路的一端通過(guò)導(dǎo)線接地,另一端分別經(jīng)由兩根導(dǎo)線連接運(yùn)放Al和AZ,要求三根導(dǎo)線的電阻相同,均為尺。當(dāng)通以如圖電流I時(shí),兩個(gè)運(yùn)放輸出電壓代和K分別為:(三個(gè)運(yùn)放的增益都為1)
從上式可知,不管被測(cè)電阻的值是多少,導(dǎo)線電阻所產(chǎn)生的誤差影響可以被補(bǔ)償。在這種補(bǔ)償法測(cè)量微電阻電路中,確保測(cè)量精確度的因素主要是三根導(dǎo)線的電阻值凡是否一致。所以,當(dāng)用此法測(cè)量電阻值較小的電阻時(shí)應(yīng)該要特別注意連接待測(cè)電阻的三根導(dǎo)線的電阻值要相等才能保證測(cè)量的精確度。
這種三線法的測(cè)量電阻的方法在實(shí)際的應(yīng)用相當(dāng)?shù)膹V泛,只要注意三根導(dǎo)線的電阻值相等就基本上能夠達(dá)到一定的精度要求。但是,三線制電阻測(cè)量方法只能消除等值線電阻的影響,不能消除接觸電阻的影響,氣而測(cè)量導(dǎo)線的長(zhǎng)度不可能完全相等,因此,三線法無(wú)法達(dá)到微電阻測(cè)量的高精度要求。
評(píng)論