小電流測(cè)量SMU至DUT的連接

連接DUT時(shí)，除了使用屏蔽和保護(hù)電纜，將吉時(shí)利4200-SCS的相應(yīng)端子與裝置的合適端子相連接也非常重要。SMU的Force HI和Force LO端子連接不合適會(huì)導(dǎo)致電流偏移和測(cè)量不穩(wěn)定。這些誤差是由于共模電流產(chǎn)生的。
通常情況下，總是將SMU的高阻端子(Force HI)連接至被測(cè)電路的最大電阻點(diǎn)。同樣，總是將4200-SCS的低阻端子(Force LO)連接至被測(cè)電路的最小電阻點(diǎn)。最小電阻點(diǎn)可以是公共端子或接地。如果Force HI端子被連接至最小電阻點(diǎn)，共模電流就會(huì)通過測(cè)量電路。
圖14中標(biāo)出了正確和不正確的測(cè)量連接。圖14a中的連接是正確的，因?yàn)榧獣r(shí)利4200-SMU的Force HI端子被連接至晶圓上器件的柵極，而Force LO端子被連接至帶有保護(hù)的吸盤。晶圓上的柵極端子為最大阻抗點(diǎn),保護(hù)吸盤為低阻抗點(diǎn)，所以該電路的連接正確。請(qǐng)注意，共模電流從SMUde Force LO端子流至保護(hù)吸盤；然而，電流并不通過安培計(jì)，因此不會(huì)影響測(cè)量。


圖14.將SMU連接至保護(hù)吸盤上的器件
圖14b中的連接是不正確的，它將SMU的Force LO端子連接至高阻柵極，將SMU的Force HI端子連接至保護(hù)吸盤。在這種情況下，共模電流將通過SMU以及DUT。這會(huì)造成測(cè)量不準(zhǔn)確，甚至不穩(wěn)定。