2602型源表應用測試類型（二）

典型的激光二極管模組中，熱敏電阻在25℃下的標稱阻值為10kΩ。在常規(guī)工作模式中，整個模組的熱穩(wěn)定性要比其絕對溫度值更為關鍵。

一系列測試熱敏電阻的技術如下：

1、維持激光二極管模組的溫度在一個已知溫度上，簡單測量熱敏電阻的阻值；

2、將一個特性已經(jīng)測出的熱敏電阻熱耦合到激光二極管模組上，使整個組裝體達到熱平衡，比較特性已知熱敏電阻與激光二極管熱敏電阻的阻值；

3、在制造過程中，設定一個足以包含激光二極管模組溫度的阻值范圍。為了避免熱敏電阻的自加熱效應，需要保持最小的功耗。一般地，提供10μA~100μA的恒定電流，測得的電壓用于推導電阻值。

晶圓測試

VCSEL是唯一的一種進行晶圓級測試的激光器件。圖1示出了片上VCSEL測試的簡單測試系統(tǒng)。晶圓探針臺通過探針卡與每個器件實現(xiàn)電學連接。探針臺也可直接定位器件上的光學探測器。隨后，使用單臺2602雙通道源表進行特性測量。

圖1. 2602 VCSEL片上測試典型框圖

如果探針卡可以同時與多個器件連接，每次探針卡與晶圓接觸，類似于圖1所示的系統(tǒng)可以測試片上的所有器件。由于片上器件數(shù)量巨大，采用掃描測試方案會非常耗時。對于要求高吞吐量的應用，用多個設備并行進行多個器件的測試往往是最優(yōu)的測試方案。對于擴展的測試方案，可以參考下面小節(jié)中討論的多路技術以及并行設備配置。