2021半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化率達(dá)到50% 這個目標(biāo)如何實(shí)現(xiàn)？

　　“中芯國際北京廠經(jīng)過5年多的努力，幫助國內(nèi)裝備、材料及零部件企業(yè)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)成果的產(chǎn)業(yè)化，逐步打破國外廠商的技術(shù)封鎖和壟斷。”當(dāng)中芯北方集成電路制造(北京)有限公司總經(jīng)理張昕在日前于寧波北侖舉辦的“中國半導(dǎo)體材料及零部件發(fā)展2017年會”上說出上述一番話時，與會的國內(nèi)300多名半導(dǎo)體材料及零部件供應(yīng)商代表的臉上無不流露出興奮的神情，曾經(jīng)是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈最弱環(huán)節(jié)的國產(chǎn)材料和零部件，終于可以堂而皇之地進(jìn)入下游集成電路制造企業(yè)了。

　　國產(chǎn)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)增長態(tài)勢明顯

　　材料和零部件作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，在整個產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著重要的基礎(chǔ)性支撐作用。近年來，國家和企業(yè)不斷加大在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的投入，資料顯示，2015-2016年兩年累計(jì)研發(fā)投入38.3億元，是2005-2009年5年間年均投入的7.1倍;2015-2016年兩年累計(jì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展投入41.5億元，已達(dá)到前5年總體投入的1/2。

　　集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長石瑛介紹說，由于持續(xù)的投入及不斷創(chuàng)新，近年來，中國半導(dǎo)體制造材料產(chǎn)業(yè)保持持續(xù)增長態(tài)勢。2008年之前，8~12英寸晶圓制造材料幾乎100%依賴進(jìn)口，到2016年年底，F(xiàn)AB廠單廠采購比例超過50%的材料品種已達(dá)27種，其中包括電子氣體、CMP拋光液、靶材、光刻膠、工藝化學(xué)品及硅片。2016年，中國半導(dǎo)體材料企業(yè)銷售收入達(dá)到256億元。預(yù)計(jì)2018年后，中國將成為全球第三大市場。

　　“到2020年，我國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)?；⒓刍l(fā)展態(tài)勢將基本形成，同時也將建成較為完善的新材料標(biāo)準(zhǔn)體系，形成一批具有國際影響力的新材料公司。到2021年，國內(nèi)半導(dǎo)體材料市場規(guī)模將突破1200億元，其中300mm產(chǎn)能的材料市場將超過70%，小于20納米工藝的材料市場將超過30%。本地材料市場占有率將超過50%，部分材料將進(jìn)入國際材料采購體系。”這些數(shù)據(jù)，對石瑛來說早已了然于胸。

　　加快本地供應(yīng)鏈形成上下游企業(yè)展開合作

　　材料供應(yīng)鏈的本土化，不僅有利于制造成本的控制、服務(wù)的快速及時響應(yīng)、技術(shù)的安全可控，它所形成的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)好處更多。

　　石瑛介紹說，目前，我國在集成電路制造用硅材料、掩模、電子氣體、工藝化學(xué)品、光刻膠、拋光材料、靶材、封裝材料領(lǐng)域已經(jīng)有一批相關(guān)的企業(yè)，也擁有生產(chǎn)這些材料的有色金屬、有機(jī)、無機(jī)化工等礦產(chǎn)資源優(yōu)勢，關(guān)鍵基礎(chǔ)原材料的品質(zhì)提升也逐漸進(jìn)入行業(yè)視線。

　　張昕提供的數(shù)據(jù)對石瑛的介紹進(jìn)行了詮釋：“截至目前，在國產(chǎn)化設(shè)備方面，中芯國際北京廠國產(chǎn)化工藝占比15.6%;在國產(chǎn)材料領(lǐng)域，采購比例達(dá)到11.3%;在國產(chǎn)零部件領(lǐng)域，采購比例達(dá)到16.2%。”

　　然而，進(jìn)入集成電路制造企業(yè)供應(yīng)鏈?zhǔn)且粋€漫長而系統(tǒng)的工作，即使國內(nèi)半導(dǎo)體材料企業(yè)已經(jīng)有了替代產(chǎn)品，但若客戶不了解，就不會使用。因此，與會代表建議，半導(dǎo)體材料及零部件企業(yè)要在品質(zhì)、物流等管理上和客戶保持一致，還要讓上游企業(yè)的工程、技術(shù)、質(zhì)量等部門與下游客戶全方位對接，尊重客戶每個部門的意見和建議。他們希望上游供應(yīng)商和下游制造企業(yè)進(jìn)行彈性合作、戰(zhàn)略合作，下游制造企業(yè)能夠定期指導(dǎo)工作。同時，國內(nèi)材料企業(yè)也能和客戶共同開發(fā)新產(chǎn)品和新配方。

　　引導(dǎo)行業(yè)整合和國內(nèi)外并購發(fā)展

　　通過并購方式加快企業(yè)自身的發(fā)展速度，從而帶動整個材料業(yè)的發(fā)展，也是近年來國內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出的新特點(diǎn)。

　　石瑛給記者羅列了以下幾個成功案例：

　　2014年5月，上海新傲與法國Soitec公司結(jié)成合作伙伴關(guān)系，在中國提供一流的SOI晶圓制造能力，并面向全球?yàn)镾oitec生產(chǎn)200mmSOI晶圓片。未來雙方將繼續(xù)擴(kuò)大合作范圍，發(fā)揮協(xié)同優(yōu)勢，在中國建立SOI生態(tài)系統(tǒng)。

　　2016年8月，雅克科技收購韓國UPChemical的100%股權(quán)，生產(chǎn)CVD/ALD前驅(qū)體;2017年10月收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權(quán)，主要生產(chǎn)六氟化硫和四氟化碳。

　　2017年3月，巨化集團(tuán)收購德國漢高集團(tuán)環(huán)氧模塑料業(yè)務(wù)100%股權(quán)以及相關(guān)知識產(chǎn)權(quán)、著名商標(biāo)、研發(fā)資產(chǎn)和海內(nèi)外營銷渠道。

　　石瑛表示，跨國兼并重組不但可以吸收國際先進(jìn)技術(shù)，擁有業(yè)內(nèi)著名品牌，更可以在很大程度上提高國內(nèi)半導(dǎo)體材料企業(yè)在人才、技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)方面的競爭力。

　　與會不少代表表示，他們希望通過集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟尋找合適的國際企業(yè)進(jìn)行合作，如通過技術(shù)培訓(xùn)的方式，學(xué)習(xí)國外公司先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)和管理經(jīng)驗(yàn)，從而進(jìn)行產(chǎn)品更新、結(jié)構(gòu)調(diào)整、品質(zhì)提升、營銷創(chuàng)新和售后服務(wù)的升級。

　　政策引導(dǎo)打造企業(yè)發(fā)展資本通道

　　雖然國內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展近來漸入佳境，但未來的路仍充滿荊棘。本次會議，演講嘉賓說得最多的一個詞是“情懷”，默默耕耘在這個領(lǐng)域的企業(yè)家不愿放棄這個陣地，但僅靠情懷又無濟(jì)于事。

　　為此，他們呼吁，國內(nèi)材料和零部件企業(yè)應(yīng)該開展合作，優(yōu)勢互補(bǔ)，共同攻關(guān)。同時，國家也應(yīng)出臺相關(guān)政策，鼓勵下游制造企業(yè)積極使用國產(chǎn)材料和零部件，在生產(chǎn)線上配置一定比例的國產(chǎn)材料和零部件。安集微電子(上海)有限公司董事長兼首席執(zhí)行官王淑敏表示，目前國家針對材料企業(yè)有一些優(yōu)惠政策，但申請、審批流程很繁瑣，應(yīng)該減少中間環(huán)節(jié)。也有企業(yè)代表建議成立公共的檢測平臺，政府適當(dāng)補(bǔ)貼平臺的運(yùn)行。

　　任何產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都離不開資金的支持，技術(shù)密集型的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)更是如此。

　　為此，集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟發(fā)起設(shè)立了盛芯材料產(chǎn)業(yè)投資基金，致力于成為我國集成電路材料領(lǐng)域的行業(yè)引導(dǎo)基金?；鹨黄谝延诮赵O(shè)立完成，規(guī)模為2億元，出資人包括業(yè)內(nèi)四家上市公司(浙江巨化、南大光電、上海新陽、金力泰)，以及具有集成電路業(yè)內(nèi)豐富投資經(jīng)驗(yàn)的寧波芯空間。

　　石瑛強(qiáng)調(diào)，盛芯基金將依托產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟豐富的企業(yè)資源和產(chǎn)業(yè)鏈合作優(yōu)勢，結(jié)合戰(zhàn)略合作伙伴廣泛的海外資源及02專項(xiàng)和國家相關(guān)科技計(jì)劃產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目庫資源，海內(nèi)外多渠道廣泛收集項(xiàng)目源，推動圍繞國內(nèi)優(yōu)勢企業(yè)的產(chǎn)業(yè)整合。截至目前，基金一期投資業(yè)務(wù)已有序展開，已儲備十余個擬投資項(xiàng)目。