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Picarro宣布用于半導體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測系統

作者: 時間:2020-03-26 來源: 美通社 收藏

宣布推出經我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統—— SAM(取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測Monitor)。該系統由在業(yè)界領先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會影響傳感器的性能。 

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202003/411356.htm

Picarro AMC Monitoring System

新的Picarro SAM系統是從組件產品到系統解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統的好處包括:

?針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統——無集成兼容性問題 

?Picarro SAM系統進行過精心優(yōu)化——系統性能符合Picarro Semi系統規(guī)格

新發(fā)明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優(yōu)勢,使其在很短的時間內達到萬億分之幾(ppt)的檢測靈敏度,并能快速將SAM系統恢復到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實時AMC監(jiān)視系統的理想選擇。該系統帶有易于使用的圖形用戶界面,可進行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個或16個端口采樣,并且目前可用于檢測氨、氟化氫和鹽酸,這三個關鍵AMC會影響的產量。展望未來,我們將根據Picarro的半導體產品路線圖為其它氣體提供SAM系統。

SAM系統路線圖還將支持復雜的AMC分析,以幫助客戶更準確地快速識別AMC事件的位置,從而允許采取更快的糾正措施,以提高與AMC相關的晶圓產量。



關鍵詞: Picarro 半導體晶圓

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