Melexis首創(chuàng)Triphibian?技術(shù)可實(shí)現(xiàn)MEMS壓力敏感元件革新

全球微電子工程公司Melexis近日宣布，推出首款采用全新專利Triphibian?技術(shù)的壓力傳感器芯片MLX90830。這款MEMS壓力敏感元件采用前所未有的小型化設(shè)計(jì)，能夠穩(wěn)健地測(cè)量2至70bar范圍內(nèi)的氣體和液體介質(zhì)的壓力。該器件經(jīng)過Melexis出廠校準(zhǔn)，可測(cè)量絕對(duì)壓力并提供成比例的模擬輸出信號(hào)。MLX90830可簡(jiǎn)化模塊與最新電動(dòng)汽車（EV）熱管理系統(tǒng)的集成，使模塊更具成本效益。

MLX90830以Melexis突破性的Triphibian?技術(shù)為核心，不僅使MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)高于5bar的精確測(cè)量，還可以實(shí)現(xiàn)液體接觸式測(cè)量。MLX90830具有獨(dú)特構(gòu)造，實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新性突破，既能進(jìn)行高壓感測(cè)，又能與氣體和液體兼容。該傳感器芯片采用SO16寬體封裝，內(nèi)部搭載一個(gè)懸掛懸臂，其尖端帶有感應(yīng)膜。

傳感器芯片的懸掛懸臂設(shè)計(jì)提供高達(dá)2000bar/msec的壓力峰值抗擾度和高達(dá)210bar的靜態(tài)爆破壓強(qiáng)水平。該器件默認(rèn)提供兩種壓強(qiáng)量程校準(zhǔn)范圍（10bar、35bar），每種壓強(qiáng)量程校準(zhǔn)范圍都專為電動(dòng)汽車熱管理系統(tǒng)的需求量身定制，包括冷媒的低壓、高壓制冷回路。與背面暴露的解決方案相比，MLX90830的設(shè)計(jì)更穩(wěn)健，因?yàn)榍罢咴诓ＡЩ鶄?cè)和引線鍵合側(cè)之間仍然存在壓力差。此外，壓力均衡原理也適用于冷凍介質(zhì)，因此MLX90830可在此類條件下運(yùn)行，這對(duì)MEMS壓力敏感元件而言尚屬首次。

與現(xiàn)有的非MEMS設(shè)計(jì)相比，MLX90830的設(shè)計(jì)精度更高、更穩(wěn)健，有助于優(yōu)化車輛熱管理系統(tǒng)的效率，可實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的行駛距離。此外，與獨(dú)立傳感器芯片模塊相比，其緊湊的嵌入式封裝減小了傳感器芯片的體積。

MLX90830包含傳感器、信號(hào)處理電路、數(shù)字硬件、穩(wěn)壓器和模擬輸出驅(qū)動(dòng)芯片。植入感應(yīng)膜中的壓阻元件可形成惠斯通電橋，從而生成輸出信號(hào)。該信號(hào)經(jīng)放大后可轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，通過16位數(shù)字信號(hào)處理（DSP）進(jìn)行溫度補(bǔ)償，最后通過數(shù)模轉(zhuǎn)換器提供模擬電壓輸出。

該傳感器芯片具備先進(jìn)的保護(hù)機(jī)制，可防止過電壓（高于+40V）和反向電壓（低于-40V），十分適合大型車輛應(yīng)用。MLX90830是按照ISO26262標(biāo)準(zhǔn)開發(fā)的獨(dú)立安全單元（SEooC），支持ASIL B級(jí)系統(tǒng)集成，以確保滿足最新的電動(dòng)汽車安全需求。

“基于Triphibian?技術(shù)且經(jīng)過Melexis精確出廠校準(zhǔn)的微型化MEMS壓力敏感元件，可實(shí)現(xiàn)電動(dòng)汽車熱管理系統(tǒng)集中化，既縮小系統(tǒng)尺寸，又提高可靠性?！眽毫鞲衅餍酒a(chǎn)品經(jīng)理Karel Claesen表示，“客戶可以將MLX90830設(shè)計(jì)到獨(dú)立的壓力傳感器中，也可將其輕松嵌入到系統(tǒng)中?！?/p>

“借助Triphibian?技術(shù)，MEMS傳感器芯片能夠提高可測(cè)量的壓力等級(jí)，并擴(kuò)展適用的介質(zhì)類型?！备呒?jí)產(chǎn)品線經(jīng)理Laurent Otte解釋道，“Melexis破解了此前無(wú)法通過MEMS技術(shù)解決的難題，現(xiàn)在我們可以通過測(cè)定液體介質(zhì)的壓力，為汽車行業(yè)及其他領(lǐng)域應(yīng)用打開新的可能?！?/p>