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靜電耗散材料電阻和電阻率的測量

作者: 時間:2012-02-01 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

耗散材料率的測量
表面/表面, 體積電阻/體積, 點對點電阻, 接地電阻的測量
l 表面電阻, 體積電阻, 點對點電阻, 接地電阻單位: Ω
l 表面單位: Ω/□
l 體積電阻率單位: Ω?cm
l 耗散材料標(biāo)準(zhǔn):
n 表面電阻: 104-1011Ω; 表面電阻率: 105-1012Ω/□
n 體積電阻: 104-1011Ω; 體積電阻率: 104-1011Ω?cm
n 點對點電阻:104-1011Ω
n 工作臺面接地電阻: 109 Ω
n 防地板接地電阻: 109Ω
n 導(dǎo)靜電地板接地電阻: 106Ω
l 測試儀器:重錘式靜電電阻測試儀(測試方法:直流法)
表面電阻和表面電阻率測試
采用TOM600ME或TOM374靜電電阻儀,配RME 1同心圓重錘電極(如圖1)

體積電阻和體積電阻率測試
采用TOM600ME或TOM374靜電電阻儀,配ME250重錘電極1對(如圖2)

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