氣電組合測(cè)量技術(shù)

　　氣電組合測(cè)量?jī)x是應(yīng)用氣動(dòng)測(cè)量的方法，在檢測(cè)時(shí)自動(dòng)將工件尺寸的微小變化轉(zhuǎn)換成空氣壓力的變化，然后通過(guò)氣電轉(zhuǎn)換裝置將空氣壓力的變化轉(zhuǎn)換成電量的變化，再經(jīng)邏輯放大運(yùn)算處理后用數(shù)字顯示出來(lái)的高精度自動(dòng)檢測(cè)儀器。

　　例如用它測(cè)世圖3所示曲柄工件上直徑20毫米的孔與直徑25毫米的軸的平行度(允許平行度誤差為100:0.02)。如圖4所示，采用軸為測(cè)t墓準(zhǔn)，將工件2上的軸裝入!儀體3的定位孔中，同時(shí)把雙管測(cè)頭1擂入被測(cè)孔內(nèi)。若被測(cè)孔軸心線不平行于墓準(zhǔn)軸心線，則雙管測(cè)頭的測(cè)量示值不同，為了將這兩個(gè)不同的空氣壓力量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，氣電組合量?jī)x用了兩個(gè)氣電轉(zhuǎn)換器，分別申接于兩個(gè)測(cè)頭氣管中。氣電轉(zhuǎn)換器的結(jié)構(gòu)工作原理如圖5所示。

　　氣電轉(zhuǎn)換器工作

　　圖6一電感測(cè)微儀工作原理方框圖氣電組合測(cè)t儀具有許多優(yōu)點(diǎn)。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號(hào)穩(wěn)定性為2微米/8小時(shí)，測(cè)量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批量生產(chǎn)測(cè)量，又適用于刁嗽t生產(chǎn)測(cè)量。但氣電組合量?jī)x的價(jià)格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測(cè)量中.可以相信，隨著我國(guó)電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測(cè)量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量?jī)x將會(huì)被廣泛應(yīng)用.時(shí)，氣流經(jīng)過(guò)濾器和穩(wěn)壓器形成清潔穩(wěn)定的壓縮空氣流送入氣電轉(zhuǎn)換器內(nèi)(如圖5中箭頭所示)，進(jìn)入的氣流分為兩路，一路經(jīng)噴嘴l進(jìn)人波紋管3的內(nèi)腔，經(jīng)由排氣噴嘴7排入大氣中;另一路經(jīng)進(jìn)氣噴嘴2進(jìn)人波紋管3的外腔，從測(cè)量噴嘴6噴出。由于工件被測(cè)尺寸的變化，測(cè)量噴嘴與工件之間的間隙也發(fā)生變化，從而改變了波紋管3內(nèi)外腔原來(lái)調(diào)定的空氣壓力差，使波紋管3沿軸向產(chǎn)生伸縮，并帶動(dòng)磁芯4位移，使感應(yīng)線圈5中的電感量發(fā)生變化，電感量的變化被送到電感測(cè)微儀中。由于波紋管在氣壓微小變化的作用下也會(huì)產(chǎn)生伸縮，因此測(cè)量靈敏度高，測(cè)量精度也高。

　　為了將電感量的變化進(jìn)行邏輯運(yùn)算處理，并將處理結(jié)果用數(shù)字顯示出來(lái)，氣電組合量?jī)x將兩個(gè)氣電轉(zhuǎn)換器的電信號(hào)輸出端同時(shí)接入一個(gè)數(shù)顯電感測(cè)微儀輸入端中運(yùn)算處理，由儀器將測(cè)量結(jié)果用數(shù)字顯示出來(lái)。電感測(cè)微儀工作原理方框圖如圖6所示。

　　氣電組合測(cè)量?jī)x具有許多優(yōu)點(diǎn)。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號(hào)穩(wěn)定性為2微米/8小時(shí)，測(cè)量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批t生產(chǎn)測(cè)量，又適用于小批量生產(chǎn)測(cè)量。但氣電組合量?jī)x的價(jià)格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測(cè)量中.可以相信，隨著我國(guó)電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測(cè)量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量?jī)x將會(huì)被廣泛應(yīng)用.