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硅微型壓力傳感器在工業(yè)及醫(yī)療上的應(yīng)用

作者: 時(shí)間:2014-08-24 來源:電子工程網(wǎng) 收藏

  用微機(jī)械加工技術(shù)制造的典型產(chǎn)品是硅微型,對(duì)此美國(guó)日本和歐洲均已形成產(chǎn)業(yè)。硅微型近幾年來發(fā)展很快,該傳感器主要應(yīng)用于汽車工業(yè)和保健領(lǐng)域。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/262129.htm

  硅微型的特點(diǎn)是體積小,重量輕,沒有活動(dòng)部件,可靠性高,又能大規(guī)模生產(chǎn)該傳感器,所以造價(jià)低。高可靠性,低成本對(duì)于汽車工業(yè)的要求可以說是非常適合的,因此在汽車工業(yè)中迅速擴(kuò)展了它的應(yīng)用領(lǐng)域。如自動(dòng)剎車系統(tǒng)的壓車面壓力,輪胎壓力,氣囊壓力,傳動(dòng)系統(tǒng)流體壓力,注入系統(tǒng)流體壓力,注入燃料壓力,發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力。進(jìn)氣管道壓力都有硅微型壓力傳感器額用武之地。

  LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微機(jī)械加工技術(shù)開發(fā)了一種能直接埋入輪胎的壓力傳感器。它能在汽車輪胎壓力很低或輪胎在跑氣時(shí)向司機(jī)報(bào)警。全世界汽車每年的生產(chǎn)量高達(dá)幾千萬(wàn)輛,因此這是一個(gè)極有前途的市場(chǎng)。

  硅微型壓力傳感器在保健領(lǐng)域里的最大應(yīng)用產(chǎn)品是血壓監(jiān)視器。據(jù)稱一些大的機(jī)械制造上每年要使用近500萬(wàn)只壓力傳感器。此外,如婦女難產(chǎn)時(shí)監(jiān)控子宮壓力用的硅微型壓力傳感器,靜脈注射監(jiān)控藥液流動(dòng)的傳感器等都是有相當(dāng)數(shù)量的市場(chǎng)需求。其他許多醫(yī)療保健方面的應(yīng)用也正在不斷開發(fā)中。

  硅微型壓力傳感器基本上分成兩類:電容式和壓阻式。電容式的壓力傳感器包括一個(gè)薄膜,它作為可變空氣電容器的一個(gè)極板,當(dāng)薄膜上承受壓力時(shí),薄膜產(chǎn)生位移,從而改變電容值,利用這種變化經(jīng)過相應(yīng)的電路處理,就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時(shí)會(huì)產(chǎn)生電阻變化的原理制成,一般將4個(gè)硅材料的應(yīng)變電阻構(gòu)成惠斯通電橋來測(cè)量壓力。

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