SEZ 的300-MM 設(shè)備首次成功登陸中國市場

    SEZ（瑟思）集團于今日宣布：第一臺SEZ的300-mm設(shè)備- Da Vinci™達(dá)芬奇系統(tǒng)-已經(jīng)銷往中國。一家領(lǐng)先的中國制造商購買并安裝了該套設(shè)備。

    大量的行業(yè)資料表明，消費類電子元器件在中國的蓬勃發(fā)展使得中國市場已經(jīng)稱為全球成長最快的半導(dǎo)體市場，預(yù)計在未來幾年中其迅速的增長速度還將繼續(xù)領(lǐng)先于所有的國家和地區(qū)。當(dāng)這一地區(qū)的半導(dǎo)體制造正在向300-mm逐步衍變之時，世界知名的半導(dǎo)體芯片制造廠對SEZ的300-mm DV系列設(shè)備的采購，為SEZ搶灘中國單晶圓市場的份額創(chuàng)造了重要的契機。

    SEZ亞太區(qū)首席運營官“Herwig Petschnig評論說：“這一訂單象征著SEZ集團相當(dāng)重要的里程碑，另外作為集團在中國半導(dǎo)體市場銷售的第一套300-mm 系統(tǒng)設(shè)備，該芯片制造廠商采購的DV系列設(shè)備同時也是我們在中國安裝的第20套設(shè)備。這一采購行動具有重大意義，它延續(xù)了SEZ公司和這一重要客戶的合作關(guān)系，使我們深感振奮?！?/P>

    在向著更大幅度的成本縮減、更好的產(chǎn)品良率、更高的生產(chǎn)力的行業(yè)發(fā)展趨勢的驅(qū)策下，自2003年7月Da Vinci系統(tǒng)平臺面世以來，市場對它的接受急速增長。SEZ已經(jīng)在全球范圍內(nèi)安裝了多套Da Vinci 系統(tǒng)，預(yù)計2005年，這一產(chǎn)品系列的銷售額將超過公司整體銷售額的50%。

    希望了解SEZ單晶圓系統(tǒng)全部系列更多信息的讀者，歡迎蒞臨SEZ公司在半導(dǎo)體中國（SEMICON China）的4019號展臺（地址：上海新國際博覽中心，時間：3月15日到17日）

Da Vinci系列

    Da Vinci （達(dá)芬奇）系列是創(chuàng)新的、可量產(chǎn)的單晶圓處理平臺，它的研發(fā)是用于滿足用于90-nm及其更小的元器件幾何尺寸下，200-mm和300-mm晶圓量產(chǎn)時后道工藝過程（BEOL）聚合物的清除、晶圓背面的蝕刻和清洗，以及新興的應(yīng)用，諸如高k（介電常數(shù)）電介質(zhì)、金屬門極、鐵電存儲（FRAM）和磁隨機存儲（MRAM）技術(shù)等新制程的要求。Da Vinci系統(tǒng)提供了可實現(xiàn)的設(shè)計、高產(chǎn)能以及準(zhǔn)確的晶圓清洗，從而幫助芯片制造商獲得最大的器件良率。