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KLA-Tencor 推出最新 Puma 9150 檢測系統(tǒng)

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作者: 時間:2007-06-21 來源:電子產品世界 收藏

  KLA-Tencor推出其在帶圖形晶片暗場檢測技術領域的最新產品 — Puma 9150 系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用新的光學模式,可在 45 納米及以下生產應用中捕獲更廣泛的成品率相關缺陷。此外,Puma 9150 還可在提供目前最高暗場生產能力的同時,降低運營成本,并允許采用高取樣率來實現嚴格工藝控制。

  “在45 納米及更低節(jié)點上,隨著節(jié)點尺寸不斷縮小,以及新型材料和器件結構的出現,客戶所面臨的成品率挑戰(zhàn)越來越多。此外,他們還面臨著必須盡可能快速和經濟有效地提高工廠成品率的壓力,”KLA-Tencor 晶片檢測事業(yè)部總經理兼副總裁 Mike Kirk 指出?!癙uma 9150 采用新的光學模式,具有改善的缺陷類型捕獲能力,再次提高暗場檢測能力的行業(yè)標桿。該系統(tǒng)通過性能和速度的獨特結合,為客戶提供一種在所有暗場技術中最快、最經濟有效的途徑,來提高器件成品率?!?

  Puma 9150加強了對小外形、大面積缺陷(例如來自銅 CMP 的拋光不足和拋光漿殘留等)的捕獲能力。它還可改善蝕刻應用中的暗場缺陷捕獲能力,例如微橋接和部分或全部阻斷通孔等。

  東芝大分廠材料與工藝工程部經理 沼野 正訓 介紹說:“我們對 KLA-Tencor 的最新 Puma 9150 系統(tǒng)進行了評估和測試,結果表明該系統(tǒng)具備顯著提高的敏感度和增強的缺陷捕獲能力,包括銅 CMP 工藝層上的細微短路缺陷,而以往的暗場系統(tǒng)無法檢測到這類缺陷。我們已經開始在最先進生產線上配備這一系統(tǒng)。”

  在 2006 年 9 月正式推出的 Puma 9110/9130 系統(tǒng),現已成為先進芯片生產廠中的檢測工具。在此成功基礎之上,KLA-Tencor 已向所有芯片生產地區(qū)的存儲和邏輯器件客戶發(fā)運 Puma 9150 系統(tǒng),其中某些廠家還訂購了多套系統(tǒng)。Puma 9150 系統(tǒng)適用于 65 納米、45 納米生產環(huán)境,以及亞 45 納米的研發(fā)工作。作為暗場檢測市場中的領先平臺,在 20 家頂級芯片生產商中,有 18 家安裝了Puma系列系統(tǒng)。為保護芯片生產商在光學檢測領域的投資,所有 91xx 系統(tǒng)均可現場升級到 9150 規(guī)格。

  Puma 9150 是 KLA-Tencor 針對 65 納米及更低節(jié)點提供的創(chuàng)新性缺陷控制解決方案中的重要組成部分。這些解決方案中還包括明場和暗場光學檢測、電子束檢測以 及多種專業(yè)軟件工具,它們可準確地識別和分類缺陷類型,允許芯片生產商快速采取糾正措施,提高器件成品率和利潤。



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