TERAVICTA：MEMES的老兵新傳

雖然MEMS技術(shù)已經(jīng)誕生了很長時間，但以前一直只在光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用嚴重限制了MEMS的普及應(yīng)用。隨著技術(shù)的發(fā)展，MEMS已經(jīng)在光學(xué)之外找到了新的天地，Tera Victa正是瞄準其專注的MEMS技術(shù)煥發(fā)新生的時機創(chuàng)立的。
MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界有機地聯(lián)系起來，它不僅可以感受運動、光、聲、熱、磁等自然界信號，并將這些信號轉(zhuǎn)換成電子系統(tǒng)可以認識的電信號，而且還可以通過電子系統(tǒng)控制這些信號，進而發(fā)出指令，控制執(zhí)行部件完成所需要的操作。從廣義上講，MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統(tǒng)。MEMS技術(shù)的目標是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術(shù)開辟了一個全新的領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。它們不僅可以降低機電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成許多大尺寸機電系統(tǒng)無法完成的任務(wù)。與有活動部件的MEMS相比，固定開關(guān)有先天的優(yōu)勢。但是單晶硅材料即使在十億次的開關(guān)之后也沒有任何的老化現(xiàn)象，這已經(jīng)遠遠超出了ROADM的實際需要。 
 
其實MEMS制作并不復(fù)雜，設(shè)計起來也非常簡單，開關(guān)制作與半導(dǎo)體極為相似，是一層接一層進行制作的。通過PCB板可以實現(xiàn)開關(guān)打開時不接觸而在關(guān)閉時上下兩層合到一起實現(xiàn)導(dǎo)通控制。因為MEMS是由靜電驅(qū)動的，所以不需要電流。而且由于避免了多晶硅材料上大量的蝕刻缺陷，單晶硅反射鏡對光的散射損耗大為減小。正是因為與半導(dǎo)體相似的制作工藝決定了MEMS產(chǎn)品的尺寸和成本可以跟上半導(dǎo)體的制程變化，從而帶來了光明的發(fā)展前景。
不過，從2000年到2006年，MEMS一直沒有被充分認可為足夠可靠的商用產(chǎn)品致使該技術(shù)一直停留在熱烈的討論階段，但2007年開始情況大為改觀。Tera Victa公司將推出26.5 GHz的MEMS開關(guān)，適用于數(shù)字電視、衛(wèi)星通信和定向雷達等領(lǐng)域。