TERAVICTA：MEMES的老兵新傳

雖然MEMS技術已經誕生了很長時間，但以前一直只在光學領域的應用嚴重限制了MEMS的普及應用。隨著技術的發(fā)展，MEMS已經在光學之外找到了新的天地，Tera Victa正是瞄準其專注的MEMS技術煥發(fā)新生的時機創(chuàng)立的。
MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界有機地聯系起來，它不僅可以感受運動、光、聲、熱、磁等自然界信號，并將這些信號轉換成電子系統(tǒng)可以認識的電信號，而且還可以通過電子系統(tǒng)控制這些信號，進而發(fā)出指令，控制執(zhí)行部件完成所需要的操作。從廣義上講，MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統(tǒng)。MEMS技術的目標是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術開辟了一個全新的領域和產業(yè)。它們不僅可以降低機電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成許多大尺寸機電系統(tǒng)無法完成的任務。與有活動部件的MEMS相比，固定開關有先天的優(yōu)勢。但是單晶硅材料即使在十億次的開關之后也沒有任何的老化現象，這已經遠遠超出了ROADM的實際需要。 
 
其實MEMS制作并不復雜，設計起來也非常簡單，開關制作與半導體極為相似，是一層接一層進行制作的。通過PCB板可以實現開關打開時不接觸而在關閉時上下兩層合到一起實現導通控制。因為MEMS是由靜電驅動的，所以不需要電流。而且由于避免了多晶硅材料上大量的蝕刻缺陷，單晶硅反射鏡對光的散射損耗大為減小。正是因為與半導體相似的制作工藝決定了MEMS產品的尺寸和成本可以跟上半導體的制程變化，從而帶來了光明的發(fā)展前景。
不過，從2000年到2006年，MEMS一直沒有被充分認可為足夠可靠的商用產品致使該技術一直停留在熱烈的討論階段，但2007年開始情況大為改觀。Tera Victa公司將推出26.5 GHz的MEMS開關，適用于數字電視、衛(wèi)星通信和定向雷達等領域。