TERAVICTA：MEMES的老兵新傳

雖然MEMS技術(shù)已經(jīng)誕生了很長(zhǎng)時(shí)間，但以前一直只在光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用嚴(yán)重限制了MEMS的普及應(yīng)用。隨著技術(shù)的發(fā)展，MEMS已經(jīng)在光學(xué)之外找到了新的天地，Tera Victa正是瞄準(zhǔn)其專注的MEMS技術(shù)煥發(fā)新生的時(shí)機(jī)創(chuàng)立的。
MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界有機(jī)地聯(lián)系起來(lái)，它不僅可以感受運(yùn)動(dòng)、光、聲、熱、磁等自然界信號(hào)，并將這些信號(hào)轉(zhuǎn)換成電子系統(tǒng)可以認(rèn)識(shí)的電信號(hào)，而且還可以通過(guò)電子系統(tǒng)控制這些信號(hào)，進(jìn)而發(fā)出指令，控制執(zhí)行部件完成所需要的操作。從廣義上講，MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)。MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過(guò)系統(tǒng)的微型化、集成化來(lái)探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術(shù)開辟了一個(gè)全新的領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。它們不僅可以降低機(jī)電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成許多大尺寸機(jī)電系統(tǒng)無(wú)法完成的任務(wù)。與有活動(dòng)部件的MEMS相比，固定開關(guān)有先天的優(yōu)勢(shì)。但是單晶硅材料即使在十億次的開關(guān)之后也沒(méi)有任何的老化現(xiàn)象，這已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了ROADM的實(shí)際需要。 
 
其實(shí)MEMS制作并不復(fù)雜，設(shè)計(jì)起來(lái)也非常簡(jiǎn)單，開關(guān)制作與半導(dǎo)體極為相似，是一層接一層進(jìn)行制作的。通過(guò)PCB板可以實(shí)現(xiàn)開關(guān)打開時(shí)不接觸而在關(guān)閉時(shí)上下兩層合到一起實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通控制。因?yàn)镸EMS是由靜電驅(qū)動(dòng)的，所以不需要電流。而且由于避免了多晶硅材料上大量的蝕刻缺陷，單晶硅反射鏡對(duì)光的散射損耗大為減小。正是因?yàn)榕c半導(dǎo)體相似的制作工藝決定了MEMS產(chǎn)品的尺寸和成本可以跟上半導(dǎo)體的制程變化，從而帶來(lái)了光明的發(fā)展前景。
不過(guò)，從2000年到2006年，MEMS一直沒(méi)有被充分認(rèn)可為足夠可靠的商用產(chǎn)品致使該技術(shù)一直停留在熱烈的討論階段，但2007年開始情況大為改觀。Tera Victa公司將推出26.5 GHz的MEMS開關(guān)，適用于數(shù)字電視、衛(wèi)星通信和定向雷達(dá)等領(lǐng)域。