Epson Toyocom推出小型高性能的水晶絕對壓力傳感器
Epson Toyocom公司最新開發(fā)出具有±10帕(約一萬分之一氣壓)的高精度與0.1帕的高分辨能力的高性能,且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對壓力傳感器。 預(yù)計2009年度商品化。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/88787.htm壓力傳感器在通常情況下存在下述技術(shù)難題:小型化時會造成性能下降;追求高性能時又不得不增大構(gòu)造。
Epson Toyocom在壓力檢測單元中采用音叉型晶體單元,由此可以得到安定度高的振蕩頻率,從而實現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。在此之上又使用QMEMS技術(shù)新開發(fā)出獨創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造,使同時具有小型及高性能——這兩種相對性能的產(chǎn)品的實現(xiàn)變?yōu)榭赡堋樵跉庀蠡虬踩? 氣象觀測中大氣壓的高精度測試; 大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測試;測試室內(nèi)門窗等開關(guān)而造成的微小的內(nèi)部壓力變化)等使用壓力傳感器領(lǐng)域各種儀器的小型化及性能提高上做出貢獻(xiàn)。而且是通過搭載于周圍機(jī)器,還可應(yīng)用于高精度氣壓測試等新領(lǐng)域的可行性的產(chǎn)品。
現(xiàn)在,Epson Toyocom正將本產(chǎn)品所采用的獨創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發(fā)上,今后亦將不斷推進(jìn)使用基于QMEMS技術(shù)的超精微加工技術(shù)、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術(shù)以及高精度檢測技術(shù)的進(jìn)化,創(chuàng)造出更高程度的高性能化和小型化。
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