一種新的晶圓級1/f噪聲測量方法
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3. 測量架構(gòu)
本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/97638.htma) 噪聲測量配置
噪聲測量配置是由吉時利的系列測量儀器構(gòu)成的，包括半導體特征分析系統(tǒng)KI4200-SCS、可編程低電流放大器KI428-PROG和低通濾波器，以及吉時利的ACS(自動特征分析套件)軟件。在構(gòu)建這一配置時，特別注意要最大限度地減少外界電磁噪聲。
圖1. 新的測量配置方案原理圖
測試配置的原理圖如圖1所示，其中虛線表示ACS控制流，實線表示數(shù)據(jù)流。
b) 測試系統(tǒng)設計
安裝了ACS軟件的KI 4200-SCS和KI 4200-SCP2，能夠完成提供輸入電壓，控制電流-電壓的測量，測量噪聲信號，控制電流放大器，和分析測試結(jié)果等工作。
我們采用一個KI 4200 SMU和一個0.5Hz濾波器提供器件的輸入偏壓。由于低通濾波器能夠消除所有高于0.5Hz的噪聲，因此1/f噪聲測量的精度大大提高了。采用一個金屬盒將該濾波器屏蔽起來以避免引入外界電磁干擾，這樣盡可能地使輸入偏壓為一直流偏壓。
采用一個探針臺測量晶圓級1/f噪聲。探針臺、DUT(待測器件)和濾波器都用電磁屏蔽金屬盒屏蔽起來，從而消除和減少了外部噪聲的干擾。
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