澳大利亞研制納米電子束曝光系統(tǒng)

　　據(jù)澳大利亞莫納什大學(xué)網(wǎng)站報(bào)道,澳大利亞研究人員正在研制世界最強(qiáng)大的納米設(shè)備之一——電子束曝光系統(tǒng)(EBL).該系統(tǒng)可標(biāo)記納米級(jí)的物體,還可在比人發(fā)直徑小1萬(wàn)倍的粒子上進(jìn)行書(shū)寫(xiě)或者蝕刻.

　　電子束曝光技術(shù)可直接刻畫(huà)精細(xì)的圖案,是實(shí)驗(yàn)室制作微小納米電子元件的最佳選擇.這款耗資數(shù)百萬(wàn)美元的曝光系統(tǒng)將在澳大利亞亮相,并有能力以很高的速度和 定位精度制出超高分辨率的納米圖形.該系統(tǒng)將被放置在即將完工的墨爾本納米制造中心(MCN)內(nèi),并將于明年3月正式揭幕.

　　MCN的臨時(shí)負(fù)責(zé)人阿彼得·凱恩博士表示,該設(shè)備將幫助科學(xué)家和工程師發(fā)展下一代微技術(shù),在面積小于10納米的物體表面上實(shí)現(xiàn)文字和符號(hào)的書(shū)寫(xiě)和蝕刻.此外,這種強(qiáng)大的技術(shù)正越來(lái)越多地應(yīng)用于鈔票詐騙防偽、微流體設(shè)備制造和X射線光學(xué)元件的研制中,還可以支持澳大利亞同步加速器的工作.

　　凱恩說(shuō):“這對(duì)澳大利亞科學(xué)家研制最新的納米儀器十分重要,其具有無(wú)限的潛力,目前已被用于油漆、汽車(chē)和門(mén)窗的凈化處理,甚至對(duì)泳衣也能進(jìn)行改進(jìn).而MCN與澳大利亞同步加速器相鄰,也能吸引更多的國(guó)際研究團(tuán)隊(duì)的目光.”

　　MCN的目標(biāo)是成為澳大利亞開(kāi)放的、多范圍的、多學(xué)科的微納米制造中心.該中心將支持環(huán)境傳感器、醫(yī)療診斷設(shè)備、微型納米制動(dòng)器的研制,以及新型能源和生物等領(lǐng)域的研究和模型繪制.除電子束曝光系統(tǒng)外,MCN中還包含了高分辨率雙束型聚焦離子束顯微鏡、光學(xué)和納米壓印光刻儀、深反應(yīng)離子蝕刻???和共聚焦顯微鏡等眾多設(shè)備.

　　凱恩認(rèn)為:能夠介入這種技術(shù)使我們的科學(xué)家十分興奮,它可以確保我們?cè)谖磥?lái)十年內(nèi)在工程技術(shù)前沿領(lǐng)域的眾多方面保持領(lǐng)先地位,也將成為科學(xué)家在納米范圍內(nèi)取得更大成就的重要基點(diǎn).