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DUV曝光機(jī)光阻劑力拼島內(nèi)自給 核心材料明年供臺積電、聯(lián)電

  • 中國臺灣自研重點(diǎn)放在半導(dǎo)體關(guān)鍵材料自主化，9家廠商年底將進(jìn)行終端產(chǎn)線驗(yàn)證。 最快明年深紫外光（DUV）曝光機(jī)的光阻劑核心材料，可打入臺積電、聯(lián)電等代工大廠產(chǎn)線中。微影制程是在晶圓上制作電路圖案，隨著精細(xì)度有DUV、EUV（極紫外光）差別。 光阻劑是一種光敏感材料，由樹脂、光敏感劑、溶劑和添加劑等組成，乃微影不可或缺重要材料。 至于曝光機(jī)的光罩部份，島內(nèi)像是家登都有生產(chǎn)，比例已不低。但過去晶圓代工制程曾發(fā)生過光阻劑大缺貨，為了把關(guān)鍵材料掌握在自己手中，島內(nèi)推動(dòng)兩期半導(dǎo)體先進(jìn)制程與封裝材料研發(fā)。 第一期202
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什么是LED光阻劑

  • 光阻，亦稱為光阻劑，是一個(gè)用在許多工業(yè)制程上的光敏材料。像是光刻技術(shù)，可以在材料表面刻上一個(gè)圖案的被覆層。...
  • 關(guān)鍵字： LED  光阻劑  

LED行業(yè)用光阻劑的簡介及應(yīng)用實(shí)例探討

  • 藍(lán)光LED產(chǎn)品問世，開啟全彩化的LED看板在顯示面板的應(yīng)用發(fā)展，由于發(fā)光二極管的發(fā)光特色，加上LED具有體積小、耗...
  • 關(guān)鍵字： LED行業(yè)  光阻劑  LED芯片  
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光阻劑介紹

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