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光阻劑
光阻劑 文章 進(jìn)入光阻劑技術(shù)社區(qū)
DUV曝光機(jī)光阻劑力拼島內(nèi)自給 核心材料明年供臺(tái)積電、聯(lián)電
- 中國(guó)臺(tái)灣自研重點(diǎn)放在半導(dǎo)體關(guān)鍵材料自主化,9家廠商年底將進(jìn)行終端產(chǎn)線驗(yàn)證。 最快明年深紫外光(DUV)曝光機(jī)的光阻劑核心材料,可打入臺(tái)積電、聯(lián)電等代工大廠產(chǎn)線中。微影制程是在晶圓上制作電路圖案,隨著精細(xì)度有DUV、EUV(極紫外光)差別。 光阻劑是一種光敏感材料,由樹(shù)脂、光敏感劑、溶劑和添加劑等組成,乃微影不可或缺重要材料。 至于曝光機(jī)的光罩部份,島內(nèi)像是家登都有生產(chǎn),比例已不低。但過(guò)去晶圓代工制程曾發(fā)生過(guò)光阻劑大缺貨,為了把關(guān)鍵材料掌握在自己手中,島內(nèi)推動(dòng)兩期半導(dǎo)體先進(jìn)制程與封裝材料研發(fā)。 第一期202
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光阻劑介紹
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