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相移干涉技術在小角度及直線度測量中的應用

  • 摘要:應用相移干涉及Zernike多項式波面擬合技術實現對空間小角度的高精度測量,測量精度可達到0·013″。與...
  • 關鍵字： 相移干涉技術  小角度  直線度測量  
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小角度介紹

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