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低驅(qū)動(dòng)電壓RF MEMS懸臂梁開關(guān)的對(duì)比研究*

  •   歐書俊,張國(guó)俊,王姝婭,戴麗萍,鐘志親(電子科技大學(xué) 電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,四川 成都 611731)  摘 要:本文針對(duì)一字型懸臂梁RF MEMS開關(guān),提出了兩種降低驅(qū)動(dòng)電壓RF MEMS開關(guān)的方法,分別為:增大局部驅(qū)動(dòng)面積和降低彈性系數(shù)。根據(jù)這兩種方法設(shè)計(jì)了4種形狀的懸臂梁開關(guān),分別為增大局部驅(qū)動(dòng)面積的十字型梁,降低彈性系數(shù)的三叉戟型、蟹鉗型和折疊型梁。在梁的長(zhǎng)度、厚度和初始間隙等參數(shù)一致的情況下,通過CMOSOL軟件建模仿真得到了這4種懸臂梁的驅(qū)動(dòng)電壓,分別為7.2 V、5.6 V、
  • 關(guān)鍵字: 202007  RF MEMS  懸臂梁  驅(qū)動(dòng)電壓  彈性系數(shù)  
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彈性系數(shù)介紹

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