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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 相移干涉技術(shù)

相移干涉技術(shù)在小角度及直線度測量中的應(yīng)用

  • 摘要:應(yīng)用相移干涉及Zernike多項式波面擬合技術(shù)實現(xiàn)對空間小角度的高精度測量,測量精度可達到0·013″。與...
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相移干涉技術(shù)介紹

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