硅片制造 文章 進(jìn)入硅片制造技術(shù)社區(qū)
12英寸硅片制造向18英寸過渡或在2015-2017年時(shí)段開始
- 應(yīng)用材料CEO Mike Splinter日前表示,他預(yù)計(jì)12英寸硅片制造向18英寸過渡或在2015-2017年時(shí)段開始。他同時(shí)告誡半導(dǎo)體生產(chǎn)商,必須避免以前8英寸硅片制造向12英寸過渡時(shí)發(fā)生的一些問題(主要是芯片生產(chǎn)商和設(shè)備廠商在計(jì)劃協(xié)調(diào)上的不同步)。Mike Splinter同時(shí)透露,應(yīng)用材料明年將正式開始切入18英寸生產(chǎn)設(shè)備的開發(fā)工作,他表示,在18英寸設(shè)備的自動化裝置和工藝反應(yīng)腔方面有大量的工作還有待完成。
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