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248nm增透膜國際領先：準分子激光器應用擴展

  • 　　248nm準分子激光器技術由于輸出波長短、能量高、具有窄的脈寬和很高的峰值功率，在工業(yè)、國防等方面，尤其是高功率激光系統(tǒng)包括248nm光刻技術、激光醫(yī)療、激光精細加工中具有極廣的應用前景，也是ICF領域一個重要的技術選項。248nm薄膜元件是準分子激光系統(tǒng)中重要的薄膜元器件，其光學損耗和抗激光損傷性能對激光系統(tǒng)的效率起著重大或決定性的作用。 　　中國科學院上海光學精密機械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的低吸收、低損耗蒸發(fā)沉積工藝，在此基礎上設計并制備了兩種248nm增透膜，
  • 關鍵字： 準分子激光器  248nm  
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248nm介紹

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