- 全球半導體產業(yè)走入50奈米制程后,浸潤式曝光機臺(Immersion Scanner)出現大缺貨,尤其是最新款的NXT:1950i機種上,交期幾乎拉到快12個月,使得2010年才下訂單的臺系DRAM廠苦等多時;存儲器業(yè)者透露,爾必達(Elpida)陣營開始轉向采購舊機種XT:1950i應急。然美光(Micron)陣營則認為,舊機種頂多用到40奈米制程就是極限,不像新機種NXT:1950i可以一路做到30奈米。
半導體產業(yè)在進入50奈米以下制程,都必須開始用Immersion Scanner,此機
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Elpida DRAM 50奈米
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