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KLA-Tencor 以全新測(cè)量系統(tǒng)擴(kuò)充其 5D? 圖型控制方案

  • 　　今天，KLA-Tencor Corporation推出兩款先進(jìn)的量測(cè)系統(tǒng)，可支持 16 納米及以下尺寸集成電路器件的開發(fā)和生產(chǎn)：Archer™ 500LCM 和 SpectraFilm™ LD10。Archer 500LCM 套刻測(cè)量系統(tǒng)在提升成品率的所有階段提供了準(zhǔn)確的套刻誤差反饋，可幫助芯片制造商解決新的圖型套刻問題，例如多層光刻和隔離層掩膜分割。通過對(duì)薄膜厚度和應(yīng)力進(jìn)行可靠、準(zhǔn)確的測(cè)量，SpectraFilm LD10 薄膜測(cè)量系統(tǒng)能對(duì) FinFETs、3D NAND 和
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