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什么是三維微電子機(jī)械系統(tǒng)
- 微機(jī)電 (MEMS) 技術(shù)在電子產(chǎn)品中的地位愈來(lái)愈重要,不論是在汽車、工業(yè)、醫(yī)療或軍事上需要用到此類精密的元器件,在信息、通訊和消費(fèi)性電子等大眾的市場(chǎng),也可以看到快速增長(zhǎng)的MEMS應(yīng)用。
- 關(guān)鍵字: 三維微電子機(jī)械系統(tǒng) MEMS CMOSMEMS
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