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Crossing Automation公司的Spartan EFEM被頂尖半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)商作為第二代測量工具

• 　　Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)今天宣布，其開發(fā)的SpartanTM設(shè)備前端模塊(EFEM)已被一家頂尖的光刻與測量設(shè)備產(chǎn)商選擇作為第二代測量工具。Crossing是一家向大規(guī)模半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)商提供高效且能有效降低成本的前端與后端工藝自動化解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。 　　Spartan EFEM之所以被選中，是因為一方面Crossing能對其進行個性化設(shè)計來滿足客戶的特定需求，另一方面它的測試平臺容易實現(xiàn)軟件集成。此外，Crossing還能提供Expre
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