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Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級別

  • 　　Gigaphoton公司18日宣布已經成功將LPP EUV光源產品的輸出端等效最大功率推進到了20W水平。該公司達成這個目標所使用的方法是，使用固態(tài)預脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標。采用這種方法，該公司在光源運行過程中達成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認可的預生產型商用EUV光源輸出功率級別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標志著預生產極 EUV光源發(fā)展過程中的一個新里程碑。 　　 ? ? 　　Gigaphoton公司
  • 關鍵字： Gigaphoton  EUV光源  

EUV光源廠商散伙

  • 　　日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關光源合資企業(yè)Gigaphoton的合作協(xié)議。Komatsu將從Ushio手中買下50%股權。未來Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會為EUV的未來投下何種變數仍有待觀察。 　　
  • 關鍵字： Gigaphoton  EUV光源  

EUV光源廠商Ushio從Gigaphoton撤資

  • 　　日本小松公司(Komatsu)與Ushio公司近日決定終止兩家公司有關EUV光刻機光源合資廠商Gigaphoton項目的合資合同。小松將從Ushio公司手中收購Gigaphoton余下的50%股份，這樣Gigaphoton將成為小松的獨資公司。 　　　
  • 關鍵字： Ushio  EUV光源  

Cymer發(fā)布EUV光源技術路線圖

  • 　　光源對于光刻機的重要性不言而喻，沒有光源的匹配，一切圖形成像都無從談起。從1986年開始，Cymer正式進入半導體產業(yè)，目前已有超過3500套光源安裝在世界各地的光刻設備上。Cymer所占的市場份額已近70%，儼然已成為世界光源制造領域的領頭羊。 　
  • 關鍵字： Cymer  EUV光源  OLED  
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euv光源介紹

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