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掩模版：產(chǎn)業(yè)鏈合作圖共贏 打破壟斷盼扶持

• 　　作為轉(zhuǎn)移微細(xì)圖形的工具，掩模版是TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)制造過程中必不可少的材料，對(duì)TFT產(chǎn)業(yè)至關(guān)重要。由于當(dāng)前掩模版市場主要被國外企業(yè)所壟斷，我國要發(fā)展TFT產(chǎn)業(yè)，掩模版的國產(chǎn)化顯得尤為重要。 　　掩模版是產(chǎn)業(yè)鏈重要環(huán)節(jié) 　　和集成電路的生產(chǎn)一樣，TFT-LCD在制造過程中也需要利用光刻工藝把沉積在基板上的薄膜(金屬、介質(zhì)或透明導(dǎo)電玻璃等)制作成一定的圖形，這種圖形轉(zhuǎn)移的母版就是掩模版。對(duì)于一種產(chǎn)品而言，其生產(chǎn)過程中有多少次光刻就需要多少張不同圖形的掩模版。 　　TFT-LCD與
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