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應用材料公司推出全新PECVD系統(tǒng)
- 應用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系統(tǒng),用于制造最先進的智能手機和平板電腦中所采用的高性能有源矩陣OLED和TFT-LCD顯示屏。通過采用LTPS關鍵技術,該系統(tǒng)可將高度一致的薄膜沉積至1.95平方米的玻璃板上——該玻璃板是以往標準尺寸的三倍。這將使顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)量,降低成本,從而加快消費電子產(chǎn)品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向轉變。
- 關鍵字: 應用材料 PECVD系統(tǒng)
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pecvd系統(tǒng)介紹
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