應用材料公司推出全新PECVD系統(tǒng)

　　應用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系統(tǒng)，用于制造最先進的智能手機和平板電腦中所采用的高性能有源矩陣OLED和TFT-LCD顯示屏。通過采用LTPS關鍵技術，該系統(tǒng)可將高度一致的薄膜沉積至1.95平方米的玻璃板上——該玻璃板是以往標準尺寸的三倍。這將使顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)量，降低成本，從而加快消費電子產(chǎn)品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向轉(zhuǎn)變。

　　OLED顯示屏具有豐富的色彩和低功耗特性，因此智能手機對4~5英寸OLED顯示屏有著強勁的需求。下一代平板電腦將采用更大的7~12英寸的OLED顯示屏，這就需要顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)能以滿足市場需求。除了能生產(chǎn)更大的OLED顯示屏外，應用材料公司的AKT-20K PX系統(tǒng)還可用于制造超高清晰度的TFT-LCD顯示屏。和以前的技術相比，這種顯示屏的像素排列緊密，因此能夠呈現(xiàn)更明亮、更鮮銳的畫面，同時功耗更低。

　　AKT-20K PX系統(tǒng)的核心是先進的LTPS技術。近十年來，應用材料公司已使這項技術日臻完善。迄今為止，應用材料公司已在全球交付近100套可將LTPS薄膜沉積在較小襯底上的系統(tǒng)。市場研究機構(gòu)DisplaySearch的報告顯示，2011年，LTPS沉積設備的市場規(guī)模將達到有史以來最高的24億美元。

　　應用材料公司副總裁、平板顯示事業(yè)部總經(jīng)理Tom Edman表示：“應用材料公司充分利用在大面積沉積技術領域近二十年來的領先優(yōu)勢，幫助客戶滿足消費者對OLED顯示屏快速增長的需求。我們擴展了已通過生產(chǎn)驗證的LTPS沉積技術，將其應用于最新的多反應腔平臺，向客戶提供一流的性能和生產(chǎn)率。目前市場對AKT-20K PX系統(tǒng)反響非常好，我們已向多家主要的顯示屏制造商交付了多臺設備。”

　　欲了解更多關于應用材料LTPS創(chuàng)新技術的詳細情況，請訪問：http://www.appliedmaterials.com/technologies/library/akt-20k-px-pecvd.

　　應用材料公司將于3月15日至17日在上海舉行的2011中國國際平板顯示器件、設備材料及配套件展覽會期間展示AKT-20K PX 系統(tǒng)。欲了解更多應用材料公司在展會期間的活動，請訪問：www.appliedmaterials.com/events/semicon-china-2011。