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Veeco獲針對(duì)SGL初步禁令,中微半導(dǎo)體將受影響
- 11月2日,有機(jī)金屬化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)(MOCVD)設(shè)備大廠美國(guó)維易科(Veeco)宣布,美國(guó)紐約東區(qū)地方法院同意了Veeco公司針對(duì)SGL Carbon,LLC(SGL)的一項(xiàng)初步禁令請(qǐng)求,該公司是中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應(yīng)商。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)內(nèi)前三大LED芯片廠商今年采購(gòu)的機(jī)臺(tái)里,Veeco和中微半導(dǎo)體各占一半。業(yè)內(nèi)人士評(píng)論稱(chēng),此次禁令可能會(huì)讓中微損失不少。 該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專(zhuān)利技術(shù)的無(wú)基座金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)使用的晶圓承載器,包括
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